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压力传感器的最新发展 摘要：近年来，随着化工过程自动化程度的不断提高，压力传感器得到了快速发展。本文论述了压力传感器的研究现状与发展趋势，具体介绍了光纤压力传感器、厚膜电容式压力传感器、碳纳米管压力传感器、SiC高温传感器等最新技术的工作原理、应用情况、发展趋势等，为从事压力传感器研究的科技工作者提供了一些参考。 关键词：压力传感器、光纤式传感器、电容式传感器、碳纳米管传感器、高温传感器 传感器技术是现代科学技术水平发展的重要标志，它与通讯技术、计算机技术构成信息产业的三大支柱。在众多微传感器中，压力传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定可靠、成本低、便于集成化的优点，可广泛用于压力、高度、加速度、液体的流量、流速、液位、压强的测量与控制[1, 2]。除此以外，还广泛应用于水利、地质、气象、化工、医疗卫生等方面。由于该技术是平面工艺与立体加工相结合，又便于集成化，所以可用来制成血压计、风速计、水速计、压力表、电子称以及自动报警装置等。然而，随着人类研究和应用范围的扩展，压力传感器又开始面临更多的挑战，经常需要能够直接工作在高温、腐蚀、强辐射等一些恶劣条件下。近年来，随着国内外研究人员的不懈努力，压力传感器技术得到了飞速发展，压力传感器已成为各类传感器技术最成熟、性能比最高的一类传感器[3-6]。 压力传感器的研究概况 新型光纤压力传感器 光纤传感器技术是在20世纪70年代开始进入研究领域的，并且伴随着光导纤维及光纤通信技术的发展而迅速发展起来，它是以光为载体，光纤为媒质的感知和传输外界信号的新型传感技术[7]。由于光纤传感器具有诸多独特优点，比如稳定性好、可靠性高、精度高、抗电磁干扰、结构简单、便于与光纤传输系统形成遥测网络等等，使其成为现代传感器的重要发展方向之一[8-10]。 在众多光纤传感器中，干涉型传感器应用范围广泛且精度最高，其中光纤法布里-珀罗 (Fabry-Perot)腔干涉仪结构简单，除了具有一般传感器的特性外，还具有测量精度高、线性度好、灵敏度高等优点，因而得到广泛的研究和应用[11]。近年来学者提出了一种基于非本征法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉腔的新型光纤压力传感器及解调方案。该压力传感器采用石英毛细管和端面镀膜的光纤制作F-P传感器，光源经过腔长受压力调制的F-P传感器选频后，用平面光栅和线阵CCD实现光波波长的解调。图1为光纤F-P传感器的结构图。 图1 光纤压力传感器结构图 厚膜电容式压力传感器 厚膜电容式压力传感器于80年代末问世，是一种为测量流体压力的传感器，它是采用陶瓷材料经特殊工艺制备而成，具有工作温度范围宽、抗过载能力强、蠕变和迟滞小、可直接接触腐蚀性液体等优点，可广泛地应用于石油、化工、食品动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。 相关文献[12]介绍了一种厚膜电容式压力传感器，它以陶瓷弹性体和盖板为电容的电极，电极材料为钯银导体，传感器包括压力敏感芯片和电容—电压转换电路，该芯片是由两块能牢固键合成一体的基板组成，基板材料为96% Al2O3陶瓷。传感器量程为0～200kPa，电容值20 pF，非线性0.3%，工作温度-20～+85℃，零点温漂小于200ppm/℃。图2 为厚膜电容式压力传感器结构图。 图2 厚膜电容式压力传感器结构图 碳纳米管压力传感器 碳纳米管(carbonnanotube , CNT)是一种非常有潜力的新型纳米功能材料。从1991年日本电子显微镜专家饭岛发现碳纳米管以来，碳纳米管因其独特而优异的电学、力学、热学、化学及电子特性等在很多领域上展现应用的潜力，主要包括纳米电子学、量子线互连、场发射器件、复合材料、化学传感器、生物传感器、检测器等领域[13]。目前，碳纳米管压力传感器主要基于碳纳米管的三个特性：一是压阻特性；二是场发射特性；三是温敏特性。 目前，压阻式碳纳米管压力传感器是碳纳米管压力传感器研究的主流模式。压阻式压力传感器研究基于其卓越的压阻特性，即受到力的作用导致其发生形变，进而电阻发生改变。压阻式碳纳米管压力传感器结构主要由两部分组成：一部分是悬空膜腔体；另一部分为碳纳米管压阻器。悬空膜用于将压力转变成形变。它通常由微加工工艺制成，大多数以硅作为四周支撑体，悬空膜则由绝缘材料构成。碳纳米管压阻器由单个碳纳米管及其电极构成，制作于悬空膜上，用于将膜的形变转换为电阻变化。 场发射式碳纳米管压力传感器是基于其场发射特性，即当碳纳米管阵列相对的悬空电极受力弯曲时，造成间距改变,导致碳纳米管场发射电流发生改变。场发射式碳纳米管压力传感器结构主要也有两部分：一部分是碳纳米管阵列；另一部分是膜封盖电极。 温敏式碳纳米管压力传感器基于其电阻温敏特性，即给碳纳米管以恒定的电流或电压加热，随着气压不同，气体热传导特性不同，