机械工程测试技术基础--03传感器01.ppt

2004-11-27 1 第三章 常用传感器与敏感原件 第三章 常用传感器（1） 第三章 常用传感器与敏感原件 第一节 常用传感器分类 第二节 机械式传感器及仪器 第三节 电阻、电容与电感式传感器 第四节 磁电、压电与热电式传感器 第五节 光电传感器 第六节 光纤传感器 第七节 半导体传感器 第八节 红外测试系统 第九节 激光测试传感器 第十节 传感器选用原则 第一节 常用传感器分类 按被测物理量 位移传感器、速度传感器、力传感器、温度传感器等 按信号变换特征 物性型：物理性质的变化；结构型：结构参数的变化。 按敏感元件与被测对象之间能量关系 能量转换型：直接由被测对象输入能量使传感器工作。如弹性压力计等。 能量控制型：能量控制型外部供给能量使传感器工作。如电阻应变计等。 输出信号类型 模拟式、数字式 第二节 机械式传感器及仪器 微型探测开关 第三节 电阻、电容与电感式传感器 电阻式传感器（把被测量变化转变为电阻变化） 变阻器式 电阻应变片式 电容式传感器（将被测量转换为电容量变化） 电感式传感器（将被测量转换为电感量变化） 一、电阻式传感器 – 1 变阻器式 电阻： 电阻率、电阻丝长度、截面积 C与A点之间电阻 直线灵敏度 回转灵敏度 变阻器式传感器 - 非线性型 也称函数电位器 骨架形状按输出要求 直角三角形（如图）： 抛物线性： 变阻器式传感器-后接电路 分压电路 位移变成输出电压 变阻器式传感器特点 优点： 结构简单 性能稳定 使用方便 应用举例 – 电位计式压力传感器 一、电阻式传感器 – 2 电阻应变式 分类 金属电阻应变片式 半导体应变片式 特点 体积小 动态响应快 精确度高 使用简便 应用 应变、力、位移、加速度、扭矩 金属电阻应变片式 – 结构 金属电阻应变片式 半导体式应变片 结构如图 工作原理： 半导体材料压阻效应，即某个方向上受外力作用时，电阻率发生变化 半导体物理：半导体在外力作用下，原子点阵排列规律发生变化，导致载流子浓度和迁移率变化，从而引起电阻率变化。 半导体式应变片 – 灵敏度 半导体式应变片 – 特点 优点 灵敏度高 机械滞后小 横向效应小 体积小 电阻应变片应用 二、电容式传感器 类型1 – 极距变化型 类型2 – 面积变化型 优点：线性关系 缺点：灵敏度低 类型3 – 介质变化型 上图：介质通过固定极板，可用于测介质层温度、湿度、厚度变化。 下图（电容液位计）： 液位变化，导致电极浸入高度变化 二、电容式传感器 – 2 测量电路 1、电桥型电路 2、直流极化电路 3、谐振电路 4、调频电路 5、运算放大电路 1、电桥型电路 电容组成桥路 电容变化转换成电桥输出电压变化（调幅波）。 2、直流极化电路 3、调频电路 二、电容式传感器 – 3 电容集成压力传感器 用集成电路工艺，将电容敏感原件和测量电路制成一体，间距和尺寸可做的很小。 二、电容式传感器 – 4 应用实例 三、电感式传感器 原理 ： 电磁感应。将被测量转换为电感量变化。 三、电感式传感器 – 1 自感型 1）可变磁阻式 典型结构 涡流式 涡流传感器 - 分压式调幅电路 分压式调幅电路的输出特性 涡流传感器 - 调频电路 涡流传感器结构 三、电感式传感器 – 2 互感型 第四节 磁电、压电与热电式传感器 磁电式传感器 动圈式 磁阻式 压电式传感器 热电式传感器 热电偶 热电阻 一、磁电式传感器 一、磁电式传感器 – 1 动圈式 一、磁电式传感器 – 1 动圈式 一、磁电式传感器 – 动圈式与动铁式对比 一、磁电式传感器 – 2 磁阻式 电容式测厚 轧辊 工作极板 被测带材 转速测量 1 2 3 4 1 — 齿轮 2 — 定极 3 — 电容传感器 4 — 频率计 按照变换方式的不同可分为： 自感型（包括可变磁阻式与涡流式） 互感型（差动变压器式） 线圈自感 N：线圈匝数 Rm：磁路总磁阻 I— 线圈中流过的电流。 ? — 通过线圈的磁通量。 特点： 非线性关系 测量范围小 0.001-1 mm i x 1 2 3 L 0 1—线圈；2—铁心；3—衔铁 Rm= RF + R? ，其中RF为 铁心与衔铁的磁阻；R?为空气隙磁阻。 式中：l1、l2 — 铁心和衔铁的导磁长度； ?1、?2 — 铁心和衔铁的磁导率； A1、A2 — 铁心和衔铁的导磁截面积； ? — 气隙长度； ?0 — 空气磁导率，?0=4??10-7 H·m-1 ； A0 — 空气隙导磁截面积。 若不考虑磁路的铁损，且空气隙? 较小时： 一般，?1和?2远远大于?0，即：RF R