超高真空系统.ppt

* 结合能标的峰位参考值 (ISO 15472: 2001) 参考结合能 (eV) 峰 位 Al K? Mg K? 单色Al K? Au 4f7/2 83.95 83.95 83.96 Ag 3d5/2 (368.22) (368.22) 368.21 Cu L3VV 567.93 334.90 Cu 2p3/2 932.63 932.62 932.62 注：括号中Ag的数据一般不用作标定。 思考题 X射线光电子能谱仪有哪些基本组成部件，它们各有何功用？ 为什么说超高真空(UHV)是进行表面研究的必要条件？ XPS检测对样品有何一般要求？ XPS的检测灵敏度一般是多少？ 4.4.1、半球扇型分析器(HSA、CHA) 原理：对应于同心半球内外二面的电位差值，只允许一种能量的电子通过，连续改变二面间的电势差值，就可以对电子动能进行扫描，获得电子强度与电子动能的关系- 即能谱图。 优点：具有双聚焦特点，透过率和分辨率都很高，加减速电场比较容易实现。 在电子收集端，可采用单通道和多通道电子倍增器，以提高分析速度。 半球扇型分析器(HSA、CHA) 半球面静电能量分析器由内外半球组成，半径分别为R1和R2，在两半球上加上负电位。当被测电子以能量E0进入能量分析器的入口后，在两个同心球面上加控制电压后使电子偏转，在出口处的检测器上聚焦。 动能为 E0 = ?V.q.H的电子将沿半径为R0