第十一章2009检漏的基本原理.pptVIP

背压检漏法： 分子流漏孔漏率 第十一章检漏方法的基本原理 背压检漏法： 粘滞流漏孔漏率 当漏孔较较大（qL＞10-9Pam3s-1）通过漏孔的气流状态可以认为是粘滞流。 充压阶段： 第十一章检漏方法的基本原理 背压检漏法： 粘滞流漏孔漏率 净化阶段： 第十一章检漏方法的基本原理 背压检漏法： 粘滞流漏孔漏率 检漏阶段： 第十一章检漏方法的基本原理 背压检漏法： 粘滞流漏孔漏率 第十一章检漏方法的基本原理 背压检漏法： 检漏灵敏度 ：分子流的情况 第十一章检漏方法的基本原理 背压检漏法： 检漏灵敏度 ：分子流的情况 对应qL示漏气体的漏率为qLS, 则对应空气的漏率为： 检漏器的灵敏度为qLemin（对空气）。 背压法检漏的灵敏度qLdmin（对空气）。 第十一章检漏方法的基本原理 被检件的最小可检漏率与检漏仪器本身的最小可检漏率的关系。分子流漏孔的背压检漏，如已知容器容积，应选择高灵敏度仪器、低摩尔质量示漏气体，高的充压压力及长的充压时间。实际检漏中外表面示漏气体脱附，系统本底等有影响。 END 谢谢大家！ Vacuum measurement and leak detection真空测量与检漏之 检漏方法的基本原理 真空检漏法：被检件与检漏器相连并将被检件抽真空，被检件外施加示漏物质。由检漏器检出示漏物质的存在和多少，从而判定漏孔的位置和漏率。 探索法中检漏器、被检件和辅助真空系统的连接有两种方式，一是检漏器接于高真空侧；一是接于前级真空侧。示漏物质未施加时，检漏器为本底信号可以认为是零（或补偿到零）；示漏物质施加后通过漏孔进入真空系统，示漏物质分压力升高，检漏器信号开始增大，当达到动态平衡时，输出信号最大；停止施加示漏物质，抽气作用导致分压力降低，信号减小直至趋于本底值，趋于零。 第十一章检漏方法的基本原理 第十一章检漏方法的基本原理 检漏器接到高真空侧： 检漏方程式：已知条件： 1被检件容积：V 2多个漏孔总漏率：qLt（对空气） 3只对其中一个漏孔检漏，其漏率：qL（对空气） 4真空抽气系统的有效抽速为：S 5示漏气体通过漏孔的时间为零且漏率为空气的K倍 6抽气系统对示漏气体的抽速为空气的n倍 7t=0时，被检系统压力为漏入空气的平衡压p10=qLt/S 被检件内示漏气体的分压力p20=0 8喷吹示漏气体后，被检件内空气分压为p1 示漏气体分压为p2 第十一章检漏方法的基本原理 检漏器接到高真空侧：（过渡、稳定状态检漏方程） 第十一章检漏方法的基本原理 检漏器接到高真空侧：（过渡、稳定状态检漏方程） 第十一章检漏方法的基本原理 检漏器接到高真空侧： 选择性检漏器的响应：热传导真空计、电离真空计和离子泵真空计等检漏器对不同示漏物质的响应大小不同，称为选择性检漏器。检漏时的响应为有无示漏物质的指示信号之差。 第十一章检漏方法的基本原理 检漏器接到高真空侧： 第十一章检漏方法的基本原理 检漏器接到高真空侧： 响应曲线：压力响应相对值对t/τ的曲线称为响应曲线。响应曲线在检漏器确定的情况下，是仅与示漏物质有关（n, K, f）的通用曲线。不同示漏物质对应的响应曲线可以是各式各样的。 第十一章检漏方法的基本原理 检漏器接到高真空侧： 影响检漏器响应的因素： 漏孔漏率qL； 示漏物质（n, K, f）； 检漏系统参数V, S（或τ） 探索时间ts； 最佳检漏效果 示漏物质 检测系统参数 检漏时间 第十一章检漏方法的基本原理 检漏器接到高真空侧： 唯一性检漏器的响应：质谱计、卤素检漏仪、钯栏电离计只对特定的示漏物质有响应，称为唯一性检漏器。只需考虑与示漏物质有关的项，故响应为： 第十一章检漏方法的基本原理 检漏器接到高真空侧： 响应曲线：压力响应相对值p/pmax，对t/τ作图可以得到一条通用的仅与n有关的响应曲线，任何一种唯一性检漏器和其对应的唯一示漏物质，都有一条这样的曲线。 第十一章检漏方法的基本原理 检漏器接到高真空侧： 影响检漏器响应的因素： 漏孔漏率qL； 示漏物质（n, K）； 检漏系统参数V, S（或τ） 探索时间ts； 最佳检漏效果 示漏物质 检测系统参数 检漏时间 第十一章检漏方法的基本原理 检漏器接到高真空侧： 检漏器的最高工作压力： 所有的检漏器都有最高工作压力，超过该压力检漏器不能工作。 比较适宜的检