成大化工HRFESEM-成大化工系.doc

高解析場發射掃描式電子顯微鏡JSM6700F 管 理 辦 法 一、目的： 為維持本實驗室正常運作及發揮其最大功能，特訂定此管理辦法以供使用者依循。 二、儀器設備： 1.儀器中文名稱：高解析場發射掃描式電子顯微鏡 2.儀器英文名稱：HIGH RESOLUTION FIELD EMISSION SCANNING ELECTRON MICROSCOPE 3.儀器英文簡稱：HR FE-SEM 4.儀器設備說明： 儀器購置日期：93年6月 儀器經費來源：成大微奈米中心 成大環資中心 成大育成中心 成大化工系 儀器設備管理維護單位：成大化工系 儀器放置地點：成大化工系館1F 93125室 儀器設備負責教授：陳炳宏教授 06-2757575-62695 儀器操作技術人員：陳菊英小姐 06-2757575-62609 儀器廠牌：JEOL 儀器型號：JSM-6700F 儀器主要規格： 解析度 1.0nm(15kV), 2.2nm(1kV) 倍率 ×25 to ×650,000 加速電壓 0.5kV to 30kV 探測電流 10-13A t0 2×10-9A 電子槍型式 冷陰極場發射式 樣品最大容許 直徑ψ25 mm × 高度10 mm 及時影像顯示 1280 × 1024 pixels 試片載台 試片移動範圍： X軸：70 mm Y軸：50 mm 旋轉：360° Y軸：1.5 mm to 25 mm 傾斜角度：-5 to +60° 主要附件： EDS： 廠牌/型號 OXFORD/INCA400 解析度 ≤ 133 ev 晶體偵測器 Si (Li) 元素偵測範圍 B5 ~ U92 三、儀器簡介： 本電腦化操作之高解析場發射掃描式電子顯微鏡，其特點為場發射，在低加速電壓下，亦可獲得高解析品質之影像能提供金屬材料、電子材料等高倍率下之二次電子影像(SEI)及背反電子影像(BEI)之觀察同時配置有能譜儀(EDS)能做元素成分之定性及半定量分析之工作SEM：表面之觀察及照相。 EDS：原子序6以上之元素的全能譜，mapping及line profile。 第一操作9：00～10：30第二操作 10：30～12：00第三操作 14：00～15：30第四操作 15：30～17：0原則上12:00~14:00開放自行操作 (資格限檢定合格者)申請辦法委託.tw/Documents/Instruments/JEM6700/JEM6700.htm)， 填寫後繳交至化工系HRSEM室技術員處。首次欲使用本儀器請於前先與技術人員接洽。 已完成預約,若欲取消,請於前否則費試片之製作由使用者自理。樣品需乾燥，在真空中無揮發性。在電子束照射下會分解或釋放氣體之樣品，因有礙必要之真空維持，恕不受理。如為非金屬、粉體試件，請先做蒸鍍及固定處理。　　 本儀器拒絕受理含有毒性、腐蝕性、揮發性及低熔點等之試件樣品台不外借，申請者可自行購買SEM載台，或提早前來準備黏製試片。 營利事業單位 學術研究單位 備註 委託操作 自行操作 SEM 900元/時 450元/時 300元/時 左列計費方式均未含管理費及營業稅26% Sputter Coater 250元/200秒 150元/200秒 100元/200秒+0.5元/杪 影像輸出 熱感紙列印（每張） 50元 30元 30元 EDS 900元/點 or 900元/小時 450元/點 or 450元/小時 300元/點 or 300元/小時 八、自行操作機台訓練及檢定實施辦法 1.訓練內容：依照本儀器作業標準內容實施。20日至26日開放網路報名。 化工系使用者：化工系各實驗室以二人為限，亦可自行傳承FE-SEM。 4.使用執照頒發辦法： 經檢定合格者才能自行操作FE-SEM。檢定步驟如下： 上機訓練： 參加過奈米中心儀器訓練課程後，須於兩個月內具6小時實習紀錄。 化工系各實驗室自行傳承檢定方式：須先填寫申請表，由該實驗室具使用執照者訓練3小時後，於兩個月內具6小時實習紀錄。 (2) 每月底向技術員申請資格檢定，含筆試及上機考試。 原擁有執照之種子，若連續四個月未曾使用過FE-SEM者，將取消該使用執照，其應重新申請執照檢定。 九、儀器維護及提供檢測服務之人員： 1.儀器維護等相關事宜的聯繫及檢測服務由技術人員擔任。附件一 高解析場發射掃描式電子顯微鏡(HR-FESEM)使用申請表使用者姓名：　　　　　　　　　　　 申請日期：　　　年　　　月　　　日使用單位：　　　　　　　　　　　 主管簽章：　　　　　　　　　　　 聯絡電話：　　　　　　　　　　　 付款方式：□使用者支付　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　□單位統籌支付聯絡地址：