生技厂空调系统测试介绍.ppt

半導體與光電廠務設施 指導老師：曹志明 班 級：職二冷五 學 生：許啟 張家 簡廷 楊景 生技廠空調概述 潔淨室環境簡介 潔淨室潔淨度之維持和控制，除了硬體設備之配合投資外，也需要良好的軟體──管理制度來搭配，方能維持良好的潔淨度。潔淨室內之微污染來源，經測試分析結果，作業人員佔約80%，如圖1所示。實驗數據顯示，作業仁員進出潔淨室時塵埃有顯著的增加，有人動作時，潔淨度馬上劣化，可見潔淨度劣化之原因，人是主要因素。 圖1 微塵產生類別比重 潔淨室的污染源可分外污染源及內污染源。外污染源包括了空調送風、間隙滲入、建築物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內污染源則包括了製程設備、工作人員、工具、加工製程、隔間材、工作桌、工具盒等，圖2為微塵粒子的傳送路徑。 因此微污染控制已成為潔淨室管理的重要環節。表1為在自然環境所測得的塵埃濃度，可為設計參考。而在　貴無塵室所測得的數據約在600,000~1,500,000（≧0.5μm）之間，界於田園地帶和住宅區間，由表中也可看出正吸煙的會議室，其微塵粒子之含量與工業區的工廠污染來得不相上下，值得我們深思警惕。 微污染控制，其基本原則有四： 1.外物塵埃侵入之防止；2.室內發塵之防止；3.室內塵埃之不積留；4.發生之微塵儘速之排除。 外物塵埃侵入之防止：潔淨室適當之正壓保持（＞0.5mmAq），做好施工工程不漏氣，人員設備、原物料搬入潔淨室前先做清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當的管理和設置。 室內發塵之防止：隔間牆、地板等潔淨室材料的適當選用、製程設備的發塵抑制、生產自動化及人員不聚集、動作放輕、潔淨衣的管理、使用潔淨室專用器等。 室內塵埃之不積留：牆壁體應光滑無死角、潔淨室須定期保養和清掃、製程設備四週應留空間。 發生塵埃之排除：換氣次數須足夠，適當的空間佈置以及污染源直接排氣和空調的氣流速度須適當。 潔淨室運轉管理，可依作業人員、原物料、設備及潔淨室內所用東西等加以探討，並依計劃（Planning）、實施（Doing）、追蹤（Checking）、動作（Action）之PDCA循環步驟執行。 作業人員之管理 在潔淨室內污染來源80%來自作業人員，因此若能使作業人員依潔淨室管理辦法確實執行管理，而所有人員也均能配合實施，則污染源的產生可說已減少大半。現就進入潔淨室的作業人員之管理和注意事項說明於下： 進入潔淨室之人員，必須要具備有達成高潔淨度標準，並要維持最好狀態之觀念。 作業人員進入潔淨室數目以維持最小限度為原擇（愈少愈好），並須依潔淨室進出標準流程進出潔淨室，如圖8-3所室。出則相反方向進行，唯不須經空氣洗塵室之脫塵處理。 對作業人員必須經常講解潔淨室管理之資料，並加以教育與訓練，內容如潔淨室管理之一般常識、潔淨室之構造與功能、維護和清潔、安全對策、搬運器材之潔淨管理與檢查、潔淨衣之穿脫、潔淨室內之步行方式等，並經考試合格者方能進入潔淨室工作。 在潔淨室作業人員須經常保持自己各方面的乾淨與清潔。 在潔淨室內之作業人員或其他人員之移動或動作均為發塵源，其直接影響製程，同時亦會影響氣流之擾動，為防止與控制上述，基本上須注意下列事項： 不可在作業區域氣流之上方放置物品或做其他作業。 不必要之動作儘量避免以防止亂流及發塵。 與作業無關的私人談話儘量避免。 為控制發塵量，人員步及作業要靜靜地進行。表8-2所示人體在不同動作時之發塵量。 作業要在潔淨之工作檯或工作桌進行。 工具等器具須收入有蓋子之箱子或櫃中，並置放一定的場所。 在潔淨室之維護管理方面，可分三部份加以說明，1.建築物之維護管理；2.環境測定與管理；3.除塵空調設備之維護管理。 1.建築物之維護管理： 建築物內定期檢查清潔； 地板之清掃管理及損壞更新； 隔間牆及天花板檢查清潔和封補； 窗戶及門之保養等。 2.環境測定與管理：潔淨室內之運轉環境狀況如溫、濕度及微塵粒子數應每日定期量測，以確實掌臥環境品質，遇有數據異常，可立即做緊急處理。 3.防塵空調設備之維護管理： 溫、濕度及塵埃濃度管理，在前面已述及，唯其量測儀器應做定期校正檢驗，若有設備移動或施工時須做局部測量； 過濾網之管理：定期檢查及更換； 空氣調節器之管理：定期檢查隔板接縫及內部污染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現象； 送風機之管理：定期檢查送風機運轉狀況； 風管及出風口之管理：檢查風管是否腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等； 測試