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带有侧面导向支撑传输结构和圆角载盘的连续式水平溅镀机的传输结构
实用新型名称
带有侧面导向支撑传输结构和圆角载盘的连续式水平溅镀机的传输结构
摘要
本实用新型公开了一种带有侧面导向支撑传输结构的连续式水平溅镀机和圆角载盘的传输结构，涉及溅镀机传输结构技术领域。包括传输马达﹑侧面导向支撑﹑侧面导向轴承﹑传输胶轮﹑传输链条﹑传输主轴﹑传输支架和传输圆角载盘。所述传输胶轮固定在传输支架上，并由传输链条相互按顺序连接，由传输马达转动带动主传输轴，从而带动链条达到传输载盘，并由两侧导向轴承和导向支撑来维持载盘在固定的轨道上传输。所述侧面导向支撑为内空长条形结构，由不锈钢材质制成。本实用新型解决了现有技术中侧面导向轴承因在溅镀腔被长时间溅镀，溅镀粉尘进到轴承里使轴承转动不灵，甚至卡死和直角载盘跑偏卡在侧面导向轴承之间而造成卡住载盘的问题。侧面导向支撑为内空结构，传输轴承安装在里面只露出5mm外径大大减少了溅镀粉尘的进入，另两侧有侧面导向支撑的连接使圆角载盘即使跑偏也不会卡在两传输轴承之间，降低了溅镀腔的传动故障率并节约了大量的劳动力与生产成本。
一种带有侧面导向支撑传输结构的连续式水平溅镀机和圆角载盘的传输结构，包括传输马达﹑侧面导向支撑﹑侧面导向轴承﹑传输胶轮﹑传输链条﹑传输支架和传输载盘相互按顺序连接，其特征在于两侧导向支撑会很好的保护侧面导向轴承和维持载盘在固定的轨道上传输。
根据权利要求1所述的一种带有侧面导向支撑传输结构的连续式水平溅镀机和圆角载盘的传输结构，其特征在于：所述侧面导向支撑为内空长条形结构，由不锈钢材质制成，直角载盘改为圆角设计。
带有侧面导向支撑和圆角载盘的连续式水平溅镀机传输结构
技术领域
[0001] 本实用新型涉及溅镀机传输结构技术领域 ，特别是涉及一种侧面有导向支撑的连续式水平溅镀机和圆角载盘的传输结构。
背景技术
[0002] 连续式水平溅镀机是一种在高真空条件下，利用气体放电产生的荷能离子在电场的作用下高速轰击阴极靶材，使靶材原子和分子逸出而沉积到基片上形成薄膜的机器，传输马达带动链条转动从而带动传输导轮使载盘前进的传输方式被广泛应用，如图1 和2所示，目前连续式水平溅镀机所使用的这种传输方式，在长时间的传输过程中经常会出现载盘传动受阻和卡在两侧导向轴承之间的设备故障，造成生产停止，使维护成本提高，如果不能及时处理，会浪费大量的人力和物力，最终造成生产成本的提高。
使用新型内容
[0003] 为了解决现有技术
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