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* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * MEMS 和 IC 的比較 IC technologies Standard/modified IC micromachining similar techniques but MEMS chips use small machines and not electronic circuits in the chip. LIGA EDM Other micromachining UV-LIGA Polymer/metal micromachining Laser machining Ion beam machining Stereolithography MEMS元件 Ref: Mems handbook, CRC press 微機電系統的製造技術 體型微加工技術(bulk micromachining) 其重點是將矽晶片腐蝕成機械元件 面型微加工技術(surface micromachining) 將需要的機械元件製作在矽晶片表面上 微光刻電鑄模造(Lithographie, Galvanoformung, Abformungg, LIGA；lithography electroplating mold forming) 主要是綜合光學、電鍍、模造等三項技術來製作微機械元件。 體型微加工技術 將矽晶片腐蝕成機械元件 Surface micromachining 將不同的薄膜沉積在整個晶片上，再選擇性的去除不要的部分，因此可以用來製造MEMS元件。 Substrate 面型微加工技術 LIGA技術 深寬比(Aspect ratio) Aspect ratio is the ratio of the depth (or height) to the width of the structure HARMs (High aspect ratio microstructures) Substrate High aspect ratio structure Low aspect ratio structure High aspect ratio hole Low aspect ratio hole 微機電系統的產品 微機電系統的產品就是零組件，它可以是家用產品、醫療用品、國防軍事的零組件。 微機電系統的產品可以製造： 感測器(sensor) - 壓力感測器 致動器(actuator) - 噴嘴、光學讀寫頭 微機電代工廠 – Advanced Microsensors Deep silicon etching by inductively coupled plasma (ICP) reactive ion etching or bulk silicon micromachining Vacuum deposition of a wide range of single element, compound and alloy materials in single or multi-layers, including complex AMR and GMR (spin-valve) sensor layers Wafer or die-level MEMS/MOEMS selective dry or wet release etching and supercritical CO2 drying 微機電系統應用及市場規模 2000十大應用領域 2005十大應用領域 汽車 光開關 工業設備 投影系統 噴墨印表頭 繼電器 投影系統 汽車 血壓計 工業設備 消費電子 噴墨印表頭 生物晶片 生物晶片 光開關 通信用濾波器 醫療設備 血壓計 醫學儀器 通信用雷射 iMEMS? Integrated Micro-Electro Mechanical Systems Analog Devices is leveraging over ten years of MEMS manufacturing experience to make available a family of gyroscopes for angular rate sensing applications. These products are built on the companys reliable iMEMS surface