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PART2光学透镜的理论分辨率：入射能量的84%集中在中央峰极限分辨率： λ：入射光波长；n：介质折射率；α：孔径半角；NA：数值孔径。光学显微镜的极限分辨率最大为：200nm（1/2λ）提高分辨本领就要减小入射波长。电磁透镜V1和V2是两个等电位区，AB之间有电场。V2高电位。电子束就向V2偏折，从而达到改变电子路径的目的。轴对称电场：静电透镜聚焦原理：电子显微镜是用电子进行照明的，因此要求电子束要有足够的亮度，因此要求发射角和截面积要尽量小。因此在电子枪中，把栅极加上负高压，比阴极点位更负，因此电位线在阴极附近强烈弯曲，造成电子束方向的急速弯曲，达到聚焦的目的。阳极接地，调整栅极点位，可以把电子束的截面积变得很小。磁透镜：分为长磁透镜和短磁透镜。长磁透镜中，电子的轨迹是一条螺旋线，因此长磁透镜不具有聚焦的作用。短磁透镜：这是一个由线圈造成的轴对称不均匀分布的磁场。电子的轨迹是螺旋近轴运动，平行于轴线入射的电子将会被聚焦在轴线上一点，即短磁透镜的焦点。电子透镜的相差分为两类：几何相差和色差。几何相差是因为磁透镜的几何形状上的差异造成的，主要包括球差、像散和畸变。色差主要是因为电子波长的不均匀（电子数单色性不好）造成的球差：即球面相差，由于电子束经过在经过电磁透镜时的中心区域和边缘区域的折射能力不符合预定规律造成的。远轴电子比近轴电子折射率大，从而远轴电子在近轴电子的焦点前面聚焦，二者焦点不一致导致球差，形成一个焦散斑。减小球差可通过减小球差系数和孔径半角来实现。在远轴电子焦点和近轴电子焦点之间有个焦散斑半径最小的部位。像散：像散是由于透镜磁场的非旋转对称引起的。极靴内孔不圆、上下极靴的轴线错位、制作积雪的材料材质不均匀、极靴孔周围局部污染等原因，都会是电磁透镜的磁场产生椭圆度，于是在不同方向上的聚焦能力出现差别，结果使五点痛过透镜后不能再像平面上聚焦成一点。可通过消像散器补偿。畸变：畸变是由球差引起的。当透镜作为投影镜时，特别在低的放大倍数下尤为突出。球差的存在使得透镜对边缘区域的聚焦能力比中心部分大，反映在像平面上，即像的放大倍数将随离轴径向距离的加大而增加或减小。图像产生了不同程度的位移。色差：由入射电子束的波长的非单一性造成的。能量大的电子在距透镜元的地方聚焦，能量小的电子在距透镜近的地方聚焦，从而形成一个焦距差，使像平面在长焦电和短焦点之间移动时，也可以得到一个最小的焦散斑。分辨本领：电磁透镜的分辨本领由衍射效应和球面相差来决定。6、场深：指在不影响透镜成像分辨率的前提下，物平面可以沿着透镜轴移动的距离。焦深：指在不影响透镜成像分辨率的前提下，像平面可以沿着透镜轴移动的距离。TEM场发射原理：电场强度在物体尖端显著增加。TEM三级成像系统：由物镜形成放大的图像和衍射图，由中间镜和投影镜把从物镜得到的图像和衍射图放大并聚焦在观察屏上。物镜系统由物镜、中间镜、投影镜构成，在物镜和中间镜之间有物镜光阑和选区光阑，这两个光阑不同时使用。物镜：物镜形成一次像和衍射图。一次像位于后焦面上，衍射图位于像平面上。放大倍数M0物镜、中间镜、投影镜的原理都相同，三个相同的镜子构成一个系统。中间镜的以物镜的像平面作为物平面，进行一次放大，放大倍数是M1以中间镜的像平面作为投影镜的物平面，进行一次放大，放大倍数为MP总的放大倍数为：M=M0*M1*MP分为图像模式(Image Mode)和衍射模式(Diffraction Mode)。所不同的是：图像模式的光路为：以前一个透镜的像平面作为后一个透镜的物平面；衍射模式为：以前一个透镜的焦平面作为后一个透镜的物平面。图像模式衍射模式常说的三面共面：物镜像平面、中间镜物平面、选区光阑——进行选区电子衍射的时候需要低倍时，物镜无放大作用。两个光阑：物镜光阑——在物镜的后焦面上，两个作用：①挡去旁轴电子，保留近轴电子，光阑孔径越小，被挡去的电子越多，图像的衬度越大；②在后焦面上套取衍射束的斑点(即副焦点)成像，形成暗场像。选区光阑——放在物镜的像平面上，用无磁性金属材料制成。PART3：电子与样品的作用信息各种电子被电子激发的原子回到初始状态时，可以通过两种方式：辐射跃迁和非辐射跃迁。骑着可以辐射出X射线，后者可以产生俄歇电子。二次电子：当入射电子与试样作用后，是物质表面发生电离。被激发的电子离开试样表面形成二次电子。二次电子能量较低，在电场作用下可呈曲线运动翻越障碍进入检测器，因而使样品表面凹凸的各个部分都能清晰成像。二次电子成像是SEM成像的主要手段。背散射电子：电子与试样作用，发生弹性或非弹性散射后离开试样表面形成背散射电子。试样原子序数大，吸收电子减少，背散射电子增多。俄歇电子：在入射电子束的作用下，试样中原子的某一原子层的电子呗激发，其空位有高能级电子来填充，使高能级的另一