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第八章 现代制造技术 第一节 精密超精密加工技术 精密及超精密加工对尖端技术的发展起着十分重要的作用。当今各主要工业化国家都投入了巨大的人力物力,来发展精密及超精密加工技术,它已经成为现代制造技术的重要发展方向之一。 本节将对精密、超精密加工和细微加工的概念、基本方法、特点和应用作一般性介绍。 一、精密加工和超精密加工的界定 精密和超精密加工主要是根据加工精度和表面质量两项指标来划分的。这种划分是相对的，随着生产技术的不断发展，其划分界限也将逐渐向前推移。 1．一般加工 一般加工是指加工精度在10μm左右（IT5~IT7）、表面粗糙度为Ra0.2μm~0.8μm的加工方法，如车、铣、刨、磨、电解加工等。适用于汽车制造、拖拉机制造、模具制造和机床制造等。 2．精密加工 精密加工是指精度在10μm~0.1μm（IT5或IT5以上）、表面粗糙度值小于Ra0.1μm的加工方法，如金刚石车削、高精密磨削、研磨、珩磨、冷压加工等。用于精密机床、精密测量仪器等制造业中的关键零件，如精密丝杠、精密齿轮、精密导轨、微型精密轴承、宝石等的加工。 3．超精密加工 超精密加工一般指工件尺寸公差为0.1μm~0.01μm数量级、表面粗糙度Ra为0.001μm数量级的加工方法。如金刚石精密切削、超精密磨料加工、电子束加工、离子束加工等，用于精密组件、大规模和超大规模集成电路及计量标准组件制造等