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TFT-LCDCell工艺简介 钱志刚 ２００6/7 ③Syringe装填 ①Seal材とSeal内Spacer材の調合 ②攪拌：５分間 ④脱泡（遠心真空） 　８０Ｐａ以下? ３．５時間 ⑤装置Set 回転数：1600rpm Seal内Spacer材 Seal容器 Seal 脱泡 配向膜 ＩＴＯ膜 Ａｇ 表示部 Ｃｏｒｎｅｒ部过细　?　液晶泄漏 不均一　?　液晶泄漏 太り　?　切断不良 过细　?　液晶泄漏 太宽　?　切断不良 正确 Ｓｅａｌ断裂　?　液晶泄漏 ［Ｓｅａｌ ｃｏｒｎｅｒ部］ ［Ｓｅａｌ 直線部］ ［Ｓｅａｌ 終端部］ Seal外观 3.3 Ag(银胶)涂布 银胶涂布目的： 在TFT基板的配线上涂布Ag胶,使TFT基板与CF基板导通。 Ａｇ ｐａｄ 正常 量ＮＧ（多） ↓ 盒厚不均 Ａｇ ｐａｓｔｅ Ａｇ ｐａｓｔｅ Ａｇ涂布前 Ｐａｄ状态 Ａｇ涂布后形状 量ＮＧ（少） ↓ 接触不良 Ａｇ ｐａｓｔｅ 位置ＮＧ ↓ 接触不良 Ａｇ ｐａｓｔｅ Ag涂布稳定性 正常 Seal – PI – Ag涂布的位置关系： Seal胶 PI膜 Ag涂布Pad 显示区 适用于TN型产品 IPS型产品不需要转移电极 另一种获得Vcom的方法 Seal胶内掺入金球,通过接触孔导通 优点：Vcom更均匀 Seal胶 3.4 液晶滴下（ODF） 目的：为了形成要求的Gap值，在TFT基板上滴 下合适的液晶量。 主要控制参数： 液晶滴下量 液晶滴下位置 液晶滴下打点数 液晶脱泡条件（时间、真空度） Lead Time（液晶滴下~真空贴合） 滴下位置：Ｓｅａｌ寄り 液晶 本Seal 補助Seal 液晶 液晶 glass glass 滴下位置：最適 液晶 本Seal 補助Seal 液晶 液晶 glass glass 滴下位置：Ｃｅｌｌ中央寄り 液晶 本Seal 補助Seal 液晶 液晶 glass glass 滴下位置稳定性 滴下位置不是最佳位置时，在大气开放时，面内压力差产生。 周边Gap不良 Ｇａｐ値（μｍ） 4.0 4.1 4.2 4.3 4.4 3.6 3.7 3.8 3.9 3.5 測定point Ａ Ａ’ 滴下量：少 滴下量：適正 滴下量：多 Ａ Ａ’ ＜測定Point＞ ＢＭ 表示部 ?Ｇａｐ大 滴下量：適正 滴下量：多 滴下量：少 ?Ｇａｐ小 滴下量对盒厚（Gap）值影响： Ｔ Ｎ I P S 球状Ｓｐａｃｅｒ 　※Cost merit 柱状Ｓｐａｃｅｒ(CF) 　※Performance 　　(High Contrast，Gap uniformity) Ｓｐａｃｅｒ材料 球状Spacer 柱状Spacer Sample n数 面内平均Gap （25点／面） 3 3.702 3.659 3.678 3.546 3.570 3.560 3σ 0.138 0.123 0.106 面内平均Gap （3P／Ａｖｅ） 3 0.047 0.035 0.043 3.674 3.559 3σ （3P／Ave） 0.122 0.042 ＜Gap uniformity＞ 盒厚（Gap）的控制 盒厚（Gap）的相关因素： 1.面内Spacer径； 2.Seal内Spacer径； 3.液晶量 球状Spacer 柱状Spacer 柱状 柱状 球状 球状 Spacer类型 TV TV Monitor Monitor 用途 IPS TN TN TN 模式 26型 20.1型 17型 15型 量产品型号 真空贴合的目的： 液晶滴下之后，在真空中将TFT和CF基板，在数μm的精度范围内进行贴合。 性能要求： 勘合精度：±6 μm以内 Gap精度： Gap均一 到达真空度：0.13Pa以下 真空到达时间：60秒内达到1Pa以下；120秒内达到0.5以下 3.5 真空贴合 真空Chamber（高真空） Ｓｅａｌ 液晶 Ｇｌａｓｓ Ｇｌａｓｓ 真空Chamber（低真空） Ｓｅａｌ 液晶 Ｇｌａｓｓ Ｇｌａｓｓ 气泡 Ｓｐａｃｅｒ 大气开放 大气开放 真空贴合过程： 1. 若没有达到要求的真空度，则贴合之后的面板会出现Gap不良，发生气泡 2. 排气速度（在液晶脱泡不充分或者排气速度太快的情况下，会导致液晶飞溅出来，若飞溅到seal材上，则会导致seal材接着不良，液晶泄漏。） 液晶 Ｓｅａｌ 真空排气 液晶飞溅 Ｇｌａｓｓ Ｇｌａｓｓ Ｇｌａｓｓ 贴合精度测定 测定方法：专用的Off-Line测定装置，在CF与TFT板贴合之后自动进行测定，测定的数据在PC中自动保存。 贴合后的Array/CF基板 Vernier与 对位