7现代加工讲述.ppt

准LIGA技术：用紫外光源代替同步辐射源，虽然不具备和LIGA技术相当的深度或宽深比。 它涉及的是常规的设备和加工技术，这些技术更容易实现。 准LIGA技术 UV-LIGA 紫外光源取代X光源 掩膜板使用普通掩膜板 SU-8，AZ4562光刻胶 深等离子刻蚀 大深宽比刻蚀，Si做为刻蚀加工对象，具有更大的刻蚀速率，结构简单。 硅微结构——塑料微结构——金属微结构——批量生产 金属模具 批量生产 Laser-LIGA 受激准分子激光剥离，光刻胶直接用脉冲UV辐射刻蚀，每个激光脉冲可以腐蚀光刻胶0.1-0.2um，无须重调焦距，可以剥离几百微米深。 a) 微齿轮模具型腔 b) 镍微齿轮(每层厚 200 μ m) 如图所示，为利用准LIGA技术制作的微齿轮模具型腔，如图a）所示，通过注射得到镍微齿轮，如图b)所示。 §7.5 准分子激光微细加工技术 加工机理： 热作用： 化学键的直接打断：利用光子能量打断物质分子间结合键； 直写工艺： 利用激光等高能束以不同的手段直接在被加工件上制作微结构。 省略了传统工艺的掩膜-抗蚀剂-工件材料的图形转印过程。 §7.6 生物加工 定义：利用微生物对工程材料的加工作用，实现预订量的去除或沉积。 分类 生物去除加工：利用生物化学反应去除 生物沉积加工：利用化学沉积方法制备具有一定强度和外形的空心金属化菌体，并以此作