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集成电路计算机辅助设计 集成电路制造与版图基础 微电子学院 高海霞 集成电路设计与制造的主要流程框架 集成电路的设计过程 集成电路的制造过程 集成电路版图的作用 芯片加工：从版图到裸片 集成电路版图的作用 所设计的版图 集成电路版图的作用 加工后得到的实际芯片版图 一、双极集成电路工艺的基本流程 一、双极集成电路工艺的基本流程 一、双极集成电路工艺的基本流程 一、双极集成电路工艺的基本流程 一、双极集成电路工艺的基本流程 按照制造器件的结构不同可以分为： 双极型：由电子和空穴这两种极性的载流子作为在有源区中运载电流的工具。 MOS型：PMOS工艺、NMOS工艺、CMOS工艺 BiCMOS集成电路：双极与MOS混合集成电路 按照MOS的栅电极的不同可以分为： 铝栅工艺、硅栅工艺（CMOS制造中的主流工艺） 按照CMOS工艺的不同可以分为： P阱工艺、N阱工艺、双阱工艺 一、双极集成电路工艺的基本流程 一、双极集成电路工艺的基本流程 一、双极集成电路工艺的基本流程 一、双极集成电路工艺的基本流程 一、双极集成电路工艺的基本流程 一、双极集成电路工艺的基本流程 一、双极集成电路工艺的基本流程 一、双极集成电路工艺的基本流程 一、双极集成电路工艺的基本流程 一、双极集成电路工艺的基本流程 一、双极集成电路工艺的基本流程 一、