基于激光干涉效应的传感器.docVIP

目录 一、激光干涉的基本原理 2 二、激光干涉传感器的类型 3 2.1单频激光干涉传感器 3 2.2 双频激光干涉传感器 3 三、常用激光干涉传感器及介绍 4 3.1 CO2激光干涉仪 4 3.2 Ne-Xe激光干涉仪 5 3.3 He-Ne激光干涉仪 5 3.4 变波长激光干涉仪 5 3.5线性调频半导体激光干涉仪 5 四、激光干涉传感器的应用 5 五、激光干涉传感器的功能特点 6 六、参考文献 7 基于激光干涉效应的传感器 摘要：以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。激光干涉传感器有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,最初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉传感器在极接近标准状态下的测量精确度很高，可达1×10-7。 关键词：激光干涉；传感器；精密测长 一、激光干涉的基本原理 两频率相同，振动方向相同的光波叠加 I=I1+I2+2COS λ为光波波长，Δ为光程差。 Δ =n1l1- n2l2 n1,n2为两光波所通过介质的折射率； l1，l2为两光波传播的距离。 计算光程差时要注意从光疏媒质到光密媒质，光反射时（近于垂直入射）的“半波损失”，反射光振动方向与入射光相反，光程附加λ/2（相位为π）。 ①2πm 即 Δ= mλ （m为整数） 当光程差为波长的整数倍，干涉条纹为亮条纹 （极大值） ②（2m+1）π 即 Δ= （2m+1）λ/2 当光程差为半波长的奇数倍，干涉条纹为暗条纹 （极小值）。 二、激光干涉传感器的类型 2.1单频激光干涉传感器 如图2.1所示，从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式式中λ为 激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。 角锥棱镜后返回，f1透过偏振分光棱镜到立体直角锥棱镜——测量棱镜，这时如果它以速度v运动，那么f1的返回光便有了变化成为（f1±Δf）。这束光返回后重新通过偏振分光棱镜并与f2的返回光会合，然后到45°放置的检偏器上产生拍频被光电元件接收，进入前置放大器和计算机。计算机对两路信号进行比较，计算它们之间的差值±Δf（即多普勒频差）。进而可以根据立体直角棱镜移动度数和时间求得被测长度。 图2.2 双频激光干涉传感器原理图 三、常用激光干涉传感器及介绍 3.1 CO2激光干涉仪 CO2激光器是一种非常适合无导轨激光测量的光源，它在10.6μm波段具有丰富的谱线，相邻谱线的波长差分布也比较均匀，构成的“合成波长链”的波长可从10.6μm到25m，因此，CO2激光干涉仪一直是无导轨激光干涉仪的研究重点。从1979年开始，由直流干涉系统到各种形式的光外差系统，CO2激光干涉仪历经多次改进，其中一种典型方案是上世纪九十年代澳大利亚研制的外差干涉仪，它通过激光器的腔长控制，顺序输出6种波长，用声光调制器的零级衍射作为本振光，构成外差系统，测量精度可达4×10-8。 3.2 Ne-Xe激光干涉仪 Ne-Xe激光器可以输出3.53μm和3.37μm两个波长，合成波长为84.2μm。从“合成波长链”的角度考虑，波长过短难以保证测量结果的唯一性，为此，系统加入了He-Ne激光器的3.39μm谱线，将“合成波长链”延伸到464μm。Ne-Xe激光干涉仪的最大优点是结构简单，测量精度可达1.8×10-7。 3.3He-Ne激光干涉仪 中国计量科学研究院研制的纵向塞曼He-Ne激光干涉仪，与成都工具研究所开发的双频激光干涉仪不同，其稳频点选在两条激光增益曲线之间，产生一对频差为1080MHz的左、右旋偏振光（这两个偏振光不在同一增益曲线上），合成波长为278mm。利用光栅测量干涉的剩余相位。系统测量长度可达100m，测量精度为±（40+1.5×10-6）。 3.4变波长激光干涉仪 变波长激光干涉仪采用两个激光器，利用谐振腔长与输出频率的关系，构成“无级”的波长系列，在理想的环境下，13m长度范围的测量精度为70μm。 3.5线性调频半导体激光干涉仪 近年来，半导体激光器线性调频技术的发展，为无导轨激光干涉仪提供了一个理想的光源，成为无导轨激光干涉技术研究的热点。1995年，德国采用了外腔可调谐式半导体激光器