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动态补偿功能提升精细线路制作能力 许灿源 汕头超声印制板公司 摘 要 为改善精细线路蚀刻不均匀的问题，对我司目前的两种CAM软件动态补偿进行实验对比，找出更适合制作精细线路板件的CAM软件，使精细线路蚀刻均匀性得到更好地控制。 关键词 蚀刻；动态补偿；CAM软件；蚀刻均匀性 Influence of different CAM software dynamic compensation for production of fine line XU Can-yuan Abstract Experimental comparison of two dynamic compensation CAM software to improve the fine line etching uneven identify the software more suitable for the production of fine line panels, so that better control of the fine line uniformity. Key words Etching; dynamic compensation; CAM software; Etching uniformity 1、前言 随着电子产品向轻、薄、小的方向发展，PCB也推向了高密度、微细化发展，因此对精细线路的研究及制作已到了迫切时期。在精细线路的制作中对线路不良率、线路均匀性等的控制极为关键。影响线路的不良率、线路均匀性的因素有很多，如：表面铜箔厚度的选择贴膜及其前处理干膜的解像度曝光显影速度蚀刻的控制μm，线宽/间距为40μm /40μm，由于线路比较精细线路补偿量对蚀刻后线路均匀性的影响很大，所以我们在进行补偿前通过另一实验找出了适合我司生产这一等级线路的补偿参数。补偿参数共分为10级，由于两款软件的简单模块参数设置等级均只有6级，所以我们采用了两款软件的复杂模块，参数设置如下图5、图6。 图5 软件1自动动态补偿试验参数设置 图6 软件2自动动态补偿试验参数设置 采用软件1和软件2自动动态补偿设计后的照片对比如表1、表2： 表1.采用软件1和软件2自动动态补偿 设计后线路图形框架对比 软件1 软件2 1、从框架图可以清楚看出扇形线用软件1进行补偿，没能按设定好的动态补偿参数进行补偿，密集处补偿分得较细，而随着间距的加大中间有一级跨度很大。 2、从框架图可以清楚看出扇形线用软件2进行动补，能按设定好的动补参数进行渐进补偿，没有出现像软件1跨度那么大的地方，补偿分级较软件1细致。 表2. 采用软件1和软件2自动动态补偿 设计后线路图形细节部分对比 软件1 软件2 叠加图 扇形线两层叠加后，从局部放大图可以看出用软件2补偿的线路拐角处位置相比用软件1多补偿了一些，如叠加图放大图中的圈出部分。这是软件2考虑到线路拐角处位置容易出现定位性线细蚀刻药水趋于流向空旷区药水交换快，蚀刻速度快，出现定位性线细μm，与设计值相差μm。 2、软件2自动动态补偿蚀刻后板件图形中，由于扇形线拐角处自动动态补偿时能自动加大补偿量，没有出现软件1类似的线细情况。测得该处的平均线宽大概为：38.5μm，与设计值相差μm。 1、软件1自动动态补偿蚀刻后板件图形中，由于扇形线处自动动态补偿时没很好的按照补偿参数进行分间距补偿，每级跨度过大，导致线路均匀性较差。同一根线测得数据最大值为：42μm，最小值为：34.1μm，极差为：7.9μm。 2、软件2自动动态补偿蚀刻后板件图形中，由于扇形线处自动动态补偿时能很好的按照补偿参数进行分间距补偿，而且分得比较仔细，制作出来的线路均匀性非常理想。同一根线测得数据最大值为：40.7μm，最小值为：39.8μm，极差仅为：0.9μm而且最大值和最小值非常接近设计值40μm。 1、软件1自动动态补偿蚀刻后板件图形中，由于平行线拐角处自动动态补偿时没有自动加大补偿量，出现了圆弧缺口，导致拐角处出现了线细。测得该处的平均线宽大概为：33.8μm，与设计值相差μm。 2、软件2自动动态补偿蚀刻后板件图形中，由于平行线拐角处自动动态补偿时能自动加大补偿量，没有出现软件1类似的线细情况。测得该处的平均线宽大概为：37.6μm，与设计值相差μm。 4、结论 所述两款CAM软件的可制造设计软件（DFM）中的自动动态补偿功能提供了根据间距的大小来确定补偿量大小的方法，实现了线宽的线性或阶梯补偿，确保蚀刻后线路图形与客户的原始设计图形更符合。软件1较难满足精细线路制作，软件2相比软件1更能胜任精细线路的制作需求；建议可在目前普遍使用的较为经济的软件1的动态补偿