TS 与Veeco的反应室构造与气流模型.ppt

谢谢！ * * * * * * * * * * * * * * * * * * Center purge Hydride Alkyl 盖子内部结构 K465I反应室的改进 红线为AKL带MO源，绿线为HYD不带MO源，两者互相交叉 K465/K465i系统的特点 反应室腔体大 石墨盘离上盖距离很大 要求气体量很大，且进入反应室流速要很快 高速旋转（1200转每分钟） 整体的利用率偏低 K465/K465i系统介绍 主体结构介绍 反应室介绍和对比 气路部分介绍和对比 控制部分介绍 加热部分介绍 K465/K465i气路简介 AKL(带MO源的气体) K465 5路（inner inn-mid middle mid-out outer) K465i 1路 HYD（不带MO源的气体） K465 10路（5路N2的PUSH, 5路H2的PUSH） K465i 1路 K465i的气路设计优于K465，主要是为了改善产品均匀性的问题，但K465i上盖的内部结构更复杂 K465/K465i气路简介 做NH3的载气，HYD气路 做SIH4的载气，进AKL气路 吹扫气体，走HYD气路 走RUN/VENT，走AKL气路 做MO源的载气，走AKL气路 K465/K465i气路简介 MFC 流量控制器 PC 压力控制器 气动阀 控制气路的流通和关闭 K465/K465i气路对比 K465前端MFC K465i前端MFC K465/K465i气路简介 尾端部分的气路结构两个机台基本一致。 反应室——球阀——过滤器——蝶阀——器械泵——尾气处理 球阀 K465I简单气路图 K465/K465i系统介绍 主体结构介绍 反应室介绍和对比 气路部分介绍和对比 控制部分介绍 加热部分介绍 K465/K465i控制部分介绍 电路控制部分分为220V和24V两路 紧急制动开关 EMO Emergency Power OFF 拉下会导致220V掉电 K465/K465i控制部分介绍 整个控制部分由控制电脑——PLC模块——DeviceNet——各控制单元（输出） 系统共配置三台电脑，主控电脑（底层通讯的连接，编写程序，实时界面控制）、RT电脑（在位监控系统）、数据存储电脑。 DeviceNet——数字化的网络，可以将所有的MFC/PC的信号整合起来。 K465/K465i控制部分介绍 K465的主操作程序为“nexus”，平时处于常开状态，关闭会导致机台的停机，切不可随意关闭。 点击“Process Module 1”进入监控生长界面，可以记录下生长时的各项参数，在作业生长时请保持在该界面上。 点击“Transpot Module”进入传盘的控制界面，可以用机械手笔进行传盘。 K465/K465i ROBOT的介绍 K465机台是用叉子来实现 反应室-手套箱 手套箱-loadlock（HUB) Loadlock-反应室之间的传输 K465机械手臂由4个相互联系的轴组成。 三个不同轴以z为旋转中心的动作轴，被称为T轴。 做水平运动，且能伸缩的轴，被称为的R -轴，R轴上的一个2级轴为END轴（END轴和R轴由通过齿轮的钢丝绳连接）。 做垂直方向运动的轴，被称为Z轴，它是一个单独服务控制轴，可以独 立完成一个动作，比如，上升，下降。 一个完整动作由四个轴完成，T轴带动R轴推进END轴，最后Z轴决定到那里。 K465/K465i ROBOT的介绍 K465/K465i手动传盘操作界面 K465叉子操作规程 点击Transfer, 给出指令系统会自动送入指定位置 比如：手套箱-反应室，（盘一定要是红色）点击Transfer,在弹出的对话框中单击 Glove Box 然后再在弹出的对话框中点击 Process Chamber 给出指令系统会自动送入指定位置 注意： 1.在传盘到指定位置时都要先确定指定位置是否有盘，有盘是不可以传盘的。 2.在RUN之前确认盘已经送入反应室中，显示颜色为红色。　 3.刚长完的盘要先传到HUB(原则上是从反应室拿出来的盘传到2号位(下面的位置), 反之从Glove Box送进来的盘则传到1号位(上面的位置) 　 4.操作过程中如果出现异常情况,就停止再做动作,请示工程师再做决定. 　5.操作的过程中，在上一步动作未完成前不能做下一步动作 紧急停止按钮 K465/K465i系统介绍 主体结构介绍 反应室介绍和对比 气路部分介绍和对比 控制部分介绍