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JEM-2100 培训 一、 开机程序： 1. 检查各仪表的读数是否正常（一般一个月检查一次）。 a ．离子泵（SIP ）：开灯丝前应保证真空压力小于4*10-5 Pa； b． 高压箱：未开高压时，高压箱SF6 （高压绝缘气体）气压表大于0.01MPa; 电子枪SF6 气压表0.28-0.32（主机左侧下方圆表），该压力值不能低于0.28 ， 低于该值不能启动，当前指针在0.3 左右； c ．水阀压力：左侧 Lens （0.06MPa ），中间 DP 泵（0.06MPa ），右侧 Lens units(0.04MPa)， d ． 循环冷却水箱：温度在18 （+/-0.5 ）度； e ．空压机在启动状态：压力表位于主机左侧下方（上面方表），当黑色指针 大于红色指针表示空压泵启动，红色指针当前位置为 0.25 左右；空压机 一般一个月放一次。 f ．主副系统通讯连接：若通信中断，操作面板右侧后方有重启开关。 g ．一般情况下，Gun，Column，Specimen 和camera 的值Ready 状态时为35 ，