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大阪大学超高圧电子顕微镜センター.doc
ナノテクノロジー?ネットワーク 阪大複合機能ナノファウンダリ
平成20年度電子顕微鏡スクール 開催のご案内
(「超高圧電子顕微鏡共同利用研究会議」共催)
大阪大学超高圧電子顕微鏡センターでは、文部科学省委託事業ナノテクノロジー?ネットワーク「阪大複合機能ナノファウンダリ ナノ計測?分析領域」の活動の一環として、電子顕微鏡スクールを下記のように開催します(「超高圧電子顕微鏡共同利用研究会議」と共催)。材料?デバイス工学や生命科学において、電子顕微鏡による極微構造解析を必要とされている学外?学内の研究者、および、これから取り組みたいと希望されている研究者および大学院生が対象です。なお、学内の修士課程大学院生は、ナノ高度学際教育研究訓練プログラムナノ構造機能解析計測学夏期実習イオンシニング装置収束イオンビームhttp://www.uhvem.osaka-u.ac.jp/nanonet-keisoku/index.htm)に記載していますのでご覧下さい。コースの振り分けは、受講申込時の希望調査に添って決定させて頂きます。参加人数を20名程度に制限させて頂きますのでお早めにお申し込みください(1研究組織からは2名まで)。
日 時: 2008年12月12日(金) 10時~17時
費 用: テキスト代1000円、(技術情報交換会:任意参加(飲食費1500円))
講 師: 当センター教職員
対象者: 学外(企業や大学等)?学内の研究者および大学院生(約20名)
受付期間: 11月10日から11月28日まで
申込先: 〒567-0047茨木市美穂ヶ丘 7-1
大阪大学超高圧電子顕微鏡センター ナノネット支援室 担当 松本
e-mail: matsumoto@uhvem.osaka-u.ac.jp tel 06-6879-7941 fax 06-6879-7942
(申し込み後の詳細事項はe-mailで連絡します)
プ ロ グ ラ ム
10:00-11:30 スクール概要説明、電顕装置?観察法の講義(90分)
12:30-14:30 試料作製法または画像処理法(120分)
(材料、デバイス、生物などのメニューから1テーマを選択)
15:00-17:00 電子顕微鏡観察法(120分)
(各種電子顕微鏡観察法から1または2テーマを選択)
17:00―19:00 技術情報交換会(希望者のみ)
電子顕微鏡スクール参加申込書
大阪大学 超高圧電子顕微鏡センター 松本宛
e-mail matsumoto@uhvem.osaka-u.ac.jp, fax 06-6879-7942
氏名(年齢) 所属 役職 学年 住所 電話?ファックス e-mail 技術情報交換会 ?参加する ?参加しない (※キャンセルの時も料金は頂きます)
専門分野 電顕利用歴 種類 経験年数 参加理由
試料作製?画像処理実習の希望項目
(A~Dを記入) A:電解研磨?イオンシニング装置収束イオンビーム
B:走査電子顕微鏡用試料の作製電子線トモグラフィー画像解析法初歩操作法電顕法トモグラフィー用画像撮影法イオンシニング装置収束イオンビームイオンシニング物理的な手法を用いて、金属、半導体等の無機材料に適用し、小孔周辺にできる厚さが楔状の試料を作製する。切り出し、前処理、イオンビーム研磨、仕上げ研磨などの説明。収束イオンビーム(FIB)
FIB 装置を用いて,試料を像観察しながら電顕試料作成を行うSEM、TEM 試料の作成の他にFIB による二次電子像コントラストや加工ダメージについても説明する.試料の作製電子線トモグラフィー画像解析法電子線トモグラフィの簡単な原理解説、およびIMODを用いた傾斜像シリーズの座標あわせ、三次元再構成などについて実演。電子顕微鏡観察の実習コース
(A~Cは120分で1コース選択、D~Hは60分で2コース選択)
A: 分析電顕法(200kV):無機結晶材料に対する高分解能観察法についての説明。金属微粒子ならびに金属半導体材料等を用いた高分解能観察法の実習。:初歩操作法:(H-800200kV)材料系試料観察の基本的な操作(試料出し入れ、ビーム軸調整、焦点合わせ、非点補正、写真撮影、マッピングなど)電顕法(JEM-1200EX)::トモグラフィー用画像撮影法 (300kV):TEMによるトモグラフィー用データ撮影のための注意点、および生物試料を用いた自動データ撮影システムの実演。(S-5200 :0.5~30kV):インレンズ FE-SEM を用いた二次電子像の観察加速電圧の選び
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