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薄膜物理 Thin Film Physics 材料物理与化学系　 Department of Materials Physics and Chemistry 电子邮件：tiezhu-x@163.com 绪论 绪论 绪论 绪论 薄膜基本制备技术 薄膜物理基础 绪论 薄 膜 的 制 备 技 术 绪论 绪论 绪论 绪论 绪论 绪论 电学薄膜 绪论 第一章 绪论 第二章 真空技术基础 第三章 薄膜的物理气相沉积法 9 第四章 薄膜的化学气相沉积法 3 第五章 溶液镀膜法 3 第六章 薄膜的形成与生长 1 第七章 薄膜的结构与缺陷 1 第八章 薄膜分析 1 第九章 薄膜的性质 1 绪论 1　薄膜物理与技术　杨邦朝　电子科技大学出版社 2　薄膜材料制备原理、技术及应用　唐伟忠　冶金工业出版社 3　薄膜材料与薄膜技术　郑伟涛　化学工业出版社 4 薄膜技术与薄膜材料 田民波 清华大学出版社 5 新型电子薄膜材料 陈光华 化学工业出版社 第二章 真空技术基础 第一节　真空的基本知识 第二节　稀薄气体的基本性质 第三节　真空的获得 第四节　真空的测量 真空技术基础 第一节　真空的基本知识 　一、真空及其单位 真空的基本知识 真空的基本知识 真空的基本知识 真空度 压强 气体分子密度：单位体积中气体分子数 气体分子的平均自由程 形成一个分子层所需的时间等 真空的基本知识 真空的基本知识 真空的基本知识 二、真空区域的划分 真空的基本知识 绪论 绪论 真空的基本知识 三、气体与蒸气 真空的基本知识 第二节 稀薄气体的基本性质 Ideal-Gas Law 稀薄气体的基本性质 盖?吕萨克定律：一定质量的气体，在压强一定时，气体的体积与绝对 温度成正比。 V = CT 或 V1/T1 = V2/T2 稀薄气体的基本性质 一、气体分子的运动速度及其分布 稀薄气体的基本性质 稀薄气体的基本性质 稀薄气体的基本性质 稀薄气体的基本性质 最可几速度——用于讨论速度分布 平均速度 ——用于计算分子运动的平均距离 均方根速度——用于计算分子的平均动能 稀薄气体的基本性质 二、气体分子的平均自由程 稀薄气体的基本性质 若气体种类和温度一定的情况下 稀薄气体的基本性质 三、碰撞次数与余弦定律 稀薄气体的基本性质 稀薄气体的基本性质 稀薄气体的基本性质 第三节　真空的获得 真空的获得 前级泵：能使压力从一个大气压开始变小，进行排气的泵常称 为“前级泵” 次级泵：只能从较低压力抽到更低压力的真空泵称为“次级泵” 极限真空：任何一个真空系统，都不可能得到绝对真空，而是 具有一定的压强，称为极限压强或极限真空 抽气速率：指在规定压强下单位时间所抽出气体的体积，它决 定抽真空所需要的时间 真空的获得 真空的获得 至今还没有一种泵能直接从大气一直工作到超高真空 第四节　真空的测量 在真空技术中遇到的气体压强都很低，要直接测量气体压力极不 容易的。因此，都是利用测定在低气压下与压强有关的某些物理 量，再变换后确定容器的压强 任何具体的物理特性，都是在某一压强范围内最显著，任何方法 都有测量范围，这个范围就是真空计的“量程” 第四节　真空的测量 气体分子运动论认为： 气体的大量分子每时每刻都处于无规则的热运动之中，其平均速度取决于气体所具有的温度；同时，在气体分子之间以及气体分子与容器壁之间，发生着不断的碰撞过程，这种碰撞过程的结果之一是使气体分子的速度服从一定的统计分布。气体分子的运动速度υ服从麦克斯韦尔-玻耳兹曼(Maxwell-Boltzmann)分布： M：气体分子的相对原子质量 T： 热力学温度 R：气体常数 上式表明：气体