超高真空技术简介-北京大学量子材料科学中心.ppt

模式二：Integral mode 方法一：残气成分分析 　　用四极质谱计在1-50amu的质量范围内进行模拟谱扫描，如果N2, O2两种气体的峰高比大约为4:1，而且还存在Ar峰，则系统有漏; 　　对于选择性抽气系统( 对惰性气体抽速极小) ，如果系统的剩余气体主峰是Ar，而不是N2，则系统有漏； 　　对于超高/ 极高真空系统，如果N2的谱峰(由于N2和CO的谱峰重叠，必须通过N2的图样系数N来计算N2峰高)高于H2和H2O的谱峰，则系统有漏。 　　对于经过彻底烘烤除气的金属真空装置，依靠空气中的N2- CO分布特性无法识别出漏孔，这是因为通常器壁在很长时间内对O2 具有强烈的抽气作用，因此在谱图中看不到O2, ，而N2常常被CO所掩盖。这时可通过质量数为14 (N)和40 (Ar)的谱峰来判断，如果其谱峰很高，则系统有漏。 方法二：示漏气体动态检漏 　　选用氦气作为示漏气体; 　　对真空系统和四极质谱计的探头进行烘烤除气，降低残气成分; 　　用四极质谱计记录真空系统的氦气本底谱; 　　用氦气喷枪对怀疑有漏的各种接头和密封面进行喷气，用适当的方法将接头和密封面包起来，以便形成较高的氦气浓度，持续时间一般为3 分钟。 　　用四极质谱计测量氦气离子流，如果离子流相对于本底有突然跃升，则可确定此处有漏孔。 四极质谱仪检漏的优点 　　对真空系统内主要残余气体进行谱峰扫描即可判断系统有无漏孔。 　　与一般的检漏仪相比，没有 “分流”作用，具有较高的灵敏度，更适用于极高真空系统的检漏。 　　四极质谱计可以在毫秒时间量级内扫描，检漏气体离子流信号出现时间短，提高了检漏速度。 　　分辨率高，本底信号小 ( 氦气为检漏气体时)，提高了检漏的可靠性。 　　可长期接在真空系统上实现在线检漏，不影响真空系统的正常运转. 　　与标准漏孔漏率比对，可较为精确的计算出漏孔漏率( 相比检漏仪) 。 　　通过对四极质谱计校准 ，可以测量示漏气体在真空容器内的分压力。 小结 超高真空基础 超高真空的获得 超高真空的测量 超高真空检漏 参考文献 邱爱叶，邵建中。超高真空技术，浙江大学出版社，1991. G. L. 威斯勒，R. W.卡尔森。真空物理和技术，原子能出版社，1990. LM Rozanov Hablanian, MH (2002). Vacuum technique. London; New York: Taylor Francis. /know-how/container.action /newweb/menu_techinfo.cfm / “There’s Plenty of Room at the Bottom.” --Richard Feynman, Dec. 29th, 1959 There’s Plenty of Room on the Surface 表面物理考试 时间 ：1月9号 下午2:00-4:00 地点：理教410 方式：开卷考试 * * 室温大气下的表面，和理想的清洁表面无论是在结构，成分和性质上都想去甚远。一个清洁的表面暴露在大气中，很容易吸附空气中的水分和气体等，发生氧化反应。清洁的硅表面和多数的金属在大气中会被迅速氧化。只有少数表面能在空气中保持稳定和清洁，例如金的表面和石墨的表面。但最近人们的研究表明，即使是石墨这样稳定的表面，在大气中也会吸附很多水和其它气体分子，并不是我们想象的那么清洁。 * 以离子态注入到阴极里的气体分子很可能因离子的连续轰击而解吸, 对惰性气体尤其如此（导致氩循环不稳定性）。 * 溅射离子泵必须在10-4mabr左右压力下启动,否则因离子流过大而使泵发热，导致吸附气体的解吸，甚至导致极间辉光放电和系统的压力升高，严重时还会影响泵的正常工作。另外,溅射离子泵对油蒸气的污染很敏感,因此对于不太清洁的系统，泵的起动压力应低于10-2帕。  * 1. Cold cathode vacuum gauges can be easily contaminated under the following conditions: If the device is activated at pressures p of more than 10-1 mbar 2. Argon is often used for applications in sputtering systems. This results in sputtering of the cathode, as well, which can cause short circuits and thus failures of the gauges 3