21世纪真空获得技术的展望.pdfVIP

21世纪真空获得技术的展望 姜燮昌 上海真空泵厂201709 一、我国真空获缛设备的现状： ． 真空获得设备是一个量大面广的产品，产量很大，产值不高，但它确实是一个影响到真空成套设备性能 质量的必不可少的基础产品。 真空获得设备从粗、低真空到超高真空，其产品大致可分成14大类： 高，超高真空——分子泵、低温泵、溅射离子泵、钛升华泵、油扩散泵 中真空——干泵、双级旋片泵、罗茨泵、油增压泵、水蒸汽喷射泵 粗、低真空——单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵 我国的真空工业自从1934年在上海诞生第一台往复式真空泵以来，已有70年的历史。目前国内的真 空企业，其中70％以上都是以生产真空泵和真空机组为主。各种往复泵、水环泵、旋片泵、滑阀泵、罗茨泵、水 蒸汽喷射泵、油增压泵、油扩散泵均已形成系列，并批量生产。虽然上述这些我们称之为“传统的真空获得产 品”，在极限真空、抽气速率等主要技术指标与国外同类产品相比差距不大，但其综合性能质量差距很大。尤 其是量大面广的旋片泵、滑阀泵、罗茨泵普遍都存在振动噪声大、喷油漏油以及故障率高、可靠性差的问题， 国产的水环泵普遍也是功耗大，抽气效率低。油扩散泵返油都比较严重，而且工作压强范围也比国外泵窄了 半个到一个数量级。目前我国真空技术的应用90％左右都是集中在传统的工业领域，如真空冶金、真空热处 理、真空干燥、真空浸渍、真空蒸馏、浓缩以及一般的光学镀膜和装饰镀膜等。这些装置的高真空泵仍然以油 扩散泵为主，前级泵都是以旋片泵、滑阀泵、水环泵为主。近年来国外的真空技术已从传统的工业领域转向 局面，有油的真空系统已被清洁无油、耐腐蚀的真空系统所代替。所以国外各种类型的干式真空泵、复合分 子泵、磁悬浮轴承分子泵和低温泵发展很快，市场上均有商品出售。而国内这一类产品除分子泵外尚属空白， 无法适应时代发展的需要。 二、真空获得技术所面临的挑战 随着科学技术的发展和真空应用领域的不断扩大。对真空获得技术提出了新的十分苛刻的要求。 1．无油清洁真空的获得 在半导体、平板显示等领域，传统的有油真空系统已经不允许使用，因为这种真空系统所产生的碳氢化合物 严重影响最终产品的性能质量，所以要求真空行业能提供可获得清洁无油真空环境的新的真空获得产品。 1．有害气体的抽除 目前我国生产的各种真空泵主要是用于抽除空气和水蒸汽，但是在现代半导体和化学工业的应用领域 中，其所需要抽除的气体多半是有害气体，即有毒、易燃、易爆以及腐蚀性气体。在抽空过程中，这种有害气 体会与泵油相混合，而使泵油变质劣化。同时在工艺过程中，化学反应的生成物及颗粒副产物也会给泵的正 常工作带来不利影响，所以在上述这些领域中，要求真空行业能提供能顺利抽除有害气体和颗粒的无油干式 的真空系统。 三、全球真空泵市场形势和发展趋势 ， 国外真空泵的市场是随着应用场合的需求而发生动态的变化。目前市场增长的主要驱动力来自于半导 体产业、平板显示器行业、化学工业的迅速发展以及干泵、分子泵和低温泵应用领域的日益扩大。 以全球各类真空泵的市场份额来看，干式真空泵占了23％，居首位；分子泵占12％，居第二。从全球各类真空 泵的年增长率来看，干式真空泵为13．5％，居第一；分子泵为8．2％，居第二。这充分说明这类真空泵在当前真 空获得技术领域中所处的地位和作用。 1．干式真空泵 所谓干泵就是指：能在大气压到10-2pa的压力范围内工作，在泵的抽气流道中不能使用任何油类和液 体，排气口与大气相通，能连续向大气中排气的泵，即称为干式真空泵。 在国外，许多真空厂商都根据不同场合的需求而生产不同形式的干泵。例如英国爱德华公司年产爪型 8000台，主要用于化工、塑料、农药等行业，因此干泵发展前景十分广阔。人们预言：2l世纪与高真空相联系 的大多数真空泵将是干式真空泵。 干泵在国外已十分成熟，市场上常见的有下列几种： (1)涡旋式干泵：其抽气机构是由旋转的涡旋体和固定的涡旋体组成。旋转的涡旋体绕固定的涡旋体 做四连杆机构的平动，由形成的月牙腔吸气、压缩和排气，气体从周边吸入向中心压缩由中间排气。这种泵 压缩平稳，驱动力距变化小，故振动小，噪声低。这种泵除在半导体工业中应用外，完全可以代替旋片泵而获 油泵。