95陶瓷散热基片生产中若干质量问题.pdfVIP

95陶瓷散热基片生产中若干质量问题 王成，彭小利，宋乐义，闰学秀 (上海五台混凝土有限公司，上海200941) An ofthe ProblemsintheProduction InvestigationQuality of CeramicSubstrates 95％Radiating WANG Xiao-li，SONG Xue—xiu Cheng，PENG Le—yi，YAN WutaiCementLimited 200941，China) (Shanghai Company，Shanghai some in of Abstract：Thisarticleintroduces the ceramicsub— qualityproblemsproduction95％radiating be laid stresson burdenof strateswhichshouldcontrolled．We the special analyzing andadhesionofsubstratesmetal． ceramic ofsubstratesmeta[ Keywords：95％ceramics；Radiating 摘要：介绍了95陶瓷散热基片生产过程中应控制的几个质量问题，重点分析了95瓷的配料，烧结及其基板金属化的附 着力等。 关键词：95瓷；散热基板；配料；烧结；金属化附着强度 中图分类号：TQl74文献标识码：A 文章编号：1002—8935[2006)04—0078—04 氧化铝陶瓷一般按配方或基板中A1203的含量 来划分，把含量在95％的称为95瓷，它广泛应用于 电子行业，而且95瓷性能优异、工艺成熟、成本便 宜。 成固溶体。同时Ti20是变价氧化物，由于变价的作 上海五台混凝土有限公司主要生产95瓷陶瓷 用，使氧化铝陶瓷微观结构产生缺陷，活化晶格，促 散热基板，用于半导体致冷器件、半导体功率器件等 进烧结…；加入La203的作用是阻止氧化铝晶体的 方面。95瓷散热基板应满足以下要求．：①瓷体致 晶粒生长；加入Y：03的作用是在烧结的低温阶段 密度好，密度高，利于散热；②电性能良好，表面质量 加速氧化铝晶体的生长速度，并使氧化铝坯迅速变 好，平整度好；③金属化附着强度高。 得致密，但是由于Y203能起到降低烧结温度的作 围绕以上要求，作者进行了一些摸索工作，对瓷 用，所以氧化铝晶粒的急剧生长不能产生。 体的配料、烧结、金属化等质量问题做了大量的研 究，现作介绍。 1 配料 形成尖晶石，生成的尖晶石在烧成过程中能阻碍晶 配料中的首要问题是主要原材料A1203粉体的粒的急速生长，但MgO随着烧结温度的升高和时 选择，工业A