SSNi(800nm)10kX不锈钢溅镀不同厚度镍触媒层SEM显微结构通入.ppt

參考文獻 .tw/web_root/ 逢甲大學材料科學與工程學系碩士論文 原著:朱柏任 * 燃料電池金屬雙極板之表面碳膜改質結構分析 班級:化材三乙 姓名:王偉龍 學號研究動機 高分子電解質膜燃料電池PEMFC 目前無法商業化的主要因素之一為材料成本過高，而其中一個發展瓶頸為雙極板。本研究希望能結合金屬雙極板和石墨雙極板之優點，利用AISI 304不鏽鋼，成本低、易加工、機械強度大以及氣密性高與電阻小的特性作為雙極板的材料，以取代價格昂貴、不易加工、機械性質差與氣阻能力較低的石墨雙極板。於金屬基板上披覆一層碳膜，不但是電、熱之良導體，更可獲得較佳之抗腐蝕能力，如此一來即可達成減輕重量、減少體積、降低成本之目的。 試品 本實驗採用鏡面AISI 304 不銹鋼（SS304），厚度為1.2 mm。在文獻中，金屬雙極板多採用AISI 316L 不銹鋼（SS316L）做為基材，而本實驗中採用SS304 為基材，最主要原因為價格便宜。在成本考量方面，若要將PEMFC 雙極板應用於大量生產，304 不鏽鋼成本會遠低於316 不鏽鋼，因此本實驗採用鏡面之SS304 不銹鋼(本文以下均 簡稱SS)做為基材。 研究項目 電阻量測 電阻值則是利用片電阻計來量測，型號為GW GOM-801G。量測電阻時試片必須固定量測面積，皆使用10 mm × 10 mm 試片。 SEM 觀察表面型態 觀察試片之表面顯微影像以及X 光微區分析，放 大倍率約為1 萬～4 萬倍。(註明:本研究所用單位sccm 是氣體的一種流量單位. 1sccm代表在標準狀態下,每分鐘有 1cm^3 的氣體流量 ) 結構分析 不銹鋼濺鍍鎳觸媒經不同溫度碳化熱處理3hr 之表面型態(a) 600oC (b) 650oC (c) 700oC 不銹鋼濺鍍鎳觸媒經不同溫度碳化熱處理3hr 之表面型態(d) 750oC (e) 800oC 不銹鋼濺鍍不同厚度鎳觸媒層SEM 圖。由700oC 表面型態觀察，濺鍍鎳層400 nm、600nm、800nm 並無明顯的不同，如圖 (a)~(f) 通入H2(200 sccm)+C2H2(300 sccm), 碳化熱處理700oC/3 hr SS/Ni(400nm) 2 kX (b) SS/Ni(400nm) 10 kX。 (c) SS/Ni(600nm) 2 kX (d) SS/Ni(600nm) 10 kX (e) SS/Ni(800nm) 2 kX (f) SS/Ni(800nm) 10 kX 不銹鋼濺鍍不同厚度鎳觸媒層SEM 顯微結構通入H2(200 sccm)+C2H2(90 sccm), 碳化熱處理700oC/3hr(a) SS/Ni(400nm) 500X (b) SS/Ni(400nm) 10 kX(c) SS/Ni(600nm) 500X (d) SS/Ni(600nm) 10 kX 再試著將混合乙炔的濃度下降，將其降低至30 sccm 混合著200sccm 的氫氣作為氣體來源。不但並非如預期中以較薄的厚度將鍍鎳的基板覆蓋住，反而在表面長出直徑非常細微的碳纖維。形成一個不緻密的表面型態，完全無法將底下的基板隔離。由此可知，混合30 sccm 的乙炔濃度會使其氣體裂解披覆的效果不足而無法在應用於保護燃料電池雙極板的製程中。 不銹鋼濺鍍不同厚度鎳觸媒層SEM 顯微結構通入H2(200 sccm)+C2H2(30 sccm), 碳化熱處理700oC/3hr(a) SS/Ni(400nm) 500X (b) SS/Ni(400nm) 10 kX(c) SS/Ni(600nm) 500X (d) SS/Ni(600nm) 10 kX 利用微電阻計量測濺鍍碳膜後試片之表面電阻，製備試片混合氣體為H2(200sccm)／C2H2(90 sccm)，熱處理條件為700oC／3hr。不論表層碳膜石墨化程度高低，電阻值皆與不銹鋼之電阻值十分接近由此推論，觸媒層膜厚對於披覆碳膜的表面電阻值並無影響，其電阻值十分微小。不銹鋼濺鍍不同厚度鎳觸媒層熱處理後的電阻值 H2(200sccm)+C2H2(90 sccm), 碳化熱處理700oC/3hr 試片接觸電阻值(10-4 Ω/cm2) SS 4.746 SS/Ni(400nm)/C 4.805 SS/Ni(600nm)/C 4.901 SS/Ni(800nm)/C 5.304 在混合不同乙炔濃度與不同鎳層厚度結果 對於高溫CVD 沈積碳膜的緻密程度有所影響，在觸媒層的厚度上必須大於400 nm 但不能超過800 nm；而在乙炔混合的濃度控制必須大約在氫氣與乙炔比例為2:1 的狀況下，在鍍有鎳觸媒層的基板上有最佳的沈積緻密程度。可以明顯地對基板有保護的效果。 不銹鋼濺鍍鎳觸媒之試