二次电子侦测器.ppt

掃描式電子顯微鏡Scanning Electron Microscope,SEM 簡報大綱 前言 這樣的畫面真令人驚異：一隻微不足道的小蟲子，在放大一萬倍之後，化身為科幻片裡巨大的異形，有 著駭人的利爪，張著巨顎 ，隨時準備蹂躪世界。如 此引人入勝的效果，全都 是掃描式電子顯微（scanning electron microscope, SEM）的傑作。 SEM發展沿革 掃描式電子顯微鏡(SEM)儀器設備 儀器結構-電子槍 儀器結構-電子槍 儀器結構-電磁透鏡 利用電磁鐵產生磁場，電子受磁場作用，其行進路線為螺旋狀。進而控制電子束的路徑 ，使之聚成極小的電子探束後，照射於試片表面上。 ?儀器結構-掃描線圈 儀器結構-偵測器 儀器結構-二次電子偵測器 儀器結構-背向散射電子偵測器 背向散射電子偵測器:與二次電子偵測器類似，但由於背向散射電子之行徑呈放射狀，故其偵測器需在其反射途徑上接收信號，由於該電子由樣品中較深層部位釋出，故其影像較二次電子影像更具明顯之立體感。 儀器結構 - X光偵測器 二次電子(Secondary Electrons) 背向散射電子(Backscattered Electrons) X光(X-ray) 影像的呈現 電腦將表面掃描所產生的各種 訊號，逐點轉換成陰極射線管 中對應的影像。標本表面的高 點在螢幕上呈現白色，低點則 呈深色。如果表面上的點朝向偵測器傾斜，則 看起來稍亮；如果傾斜方向為遠離偵測器，看 起來較為灰暗（圖為紅血球）。 掃描式電子顯微鏡(SEM)運作原理 利用電子源發射出電子後，經2至3個電磁透鏡匯聚成nm之電子束，再經由掃描線圈，使電子束於試片室內對試件表面作掃描，再透過物鏡聚焦。當電子束作用於試件表面時會激發出電子訊號，由偵測器偵測其訊號後經數位放大，在螢幕上顯像。 能量分散式光譜儀(EDS) 能量分散式光譜儀(EDS) 波長分散式光譜儀(WDS) 波長分散式光譜儀(WDS) EDS與WDS之比較 電子束與試片的作用原理 掃描式電子顯微鏡的成像 1.掃描:電子束會沿著試片上的一條線掃描，並同時對應到螢幕的一條水平線，他們之間是一對一的對應關係，電子光束掃瞄的速度非常快，所以螢光幕上由點成線，由線成面，而肉眼由於「視覺暫留」的作用，所看到的卻是一幅完整的畫面。 掃描式電子顯微鏡的成像 2.放大:電子顯微鏡的放大原理和一般光學不同，電子顯微鏡是縮短掃描長度來達到放大效果，例如螢幕掃瞄線的長度固定為10公分，當放大的倍率愈高時，僅試片上的掃描長度變小而已。放大倍率=L / l 加速電壓對試片之影響 (1)高加速電壓對試片景深有較明顯之顯像 (2)低加速電壓對試片表面之凹凸起伏較明顯 電子束電流對試片之影響 (1)高電子束電流由於電子束密度高，所產生二次電子數 目較多，影像品質較細緻。 (2)低電子束電流由於電子束密度低，所產生二次電子數 目較少，影像品質較粗糙。 如何提高解析度 SEM樣品之製作 標本含水份 需要經過固定、脫水等步驟，且為了避免在去除水份時發生表面微細構造的變形，乾燥成為掃描式電子顯微鏡在樣品處理技術中極為重要的過程。 標本無法導電傳熱 (1)必須在其表面上覆蓋一層金屬薄膜，以利觀察，此步驟稱 為覆膜。否則電子束在掃描的過程中，標本將因高溫而遭 到破壞。 (2)若樣品本身為乾燥堅硬之物體如頭髮、牙齒、指甲等，則 可不經過脫水或乾燥等過程，直接覆膜後即可置於SEM中 觀察。 非生物材料若本身已具導電性質，則不需經過任何處理即可觀察。 常用顯微技術比較 SEM優點 具有較光學顯微鏡佳的解析度。 具有較大的景深，利於觀察樣品表面型態及尺度。 能提供具實體感的立體影像。 標本處理比其它顯微鏡簡單。 SEM缺點 SEM是在樣品表面掃描，信號來自樣品表面，不能獲得樣品內比較深的部位的情況。 因不包含結構信號，即不能區分單晶、多晶、非晶，不能區分位錯、層錯、晶界。 EDS的分辨率為微米级，也不適合厚度在微米以下薄膜的分析。 SEM的應用範圍 生物:種子、花粉、細菌…… 醫學:血球、病毒…… 動物:大腸、絨毛、細胞、纖維…… 材料:陶磁、高分子、粉末、環氧脂…… 化學、物理、地質、冶金、礦物、污泥 (桿菌)、機械、電機及導電性樣品如半導體 (IC、線寬量測、斷面、結構 觀察