LaTiO3x薄膜生长氧压对薄膜结构和输运性能的影响.pdfVIP

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2017-03-14 发布于广东
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第卷第期低温物理学报 ! ! # $%’! (%’# !! !! !! !! !! 年月 +,-(./.0123(4516517 8.9:.34823.:,;/-+/ ! !))# ** (%’ !))# 84P- 薄膜生长氧压对薄膜结构 DG! 和输运性能的影响 ! ! 王奉波*! 李洁! 雍俐培*! 黎松林! !! ! !! !! ! 孙小松* 郑东宁! !! *四川大学材料科学与工程学院!成都 *))L ! !中国科学院物理研究所超导国家重点实验室!北京 *)))@) ! 利用脉冲激光沉积 #的方法!在的生长温度!不同的氧气气氛下 ?L :5\ #)Z ’h*) !! #制备了 #薄膜反射式高能电子衍射仪 #实时监测表明 :A #):A 5A8O1 581 ’ 3,..\ ! =K! 我们所制备的薄膜表面平整光滑!面内取向较好射线衍射 #数据表明$ 薄 ’] ]3\ 5A8O1 =K! 膜特征峰的位置随生长氧压的变化而发生变化当氧压增大时!衍射峰对应的角减小!并 ’ ! ’ 且在中间氧压时!衍射峰宽化我们认为氧压增大!使得薄膜中氧含量增加随着值的增 ’ ’ ! 加!薄膜的电输运性能发生显著改变在高真空度条件下生长的薄膜表现出很强的金属性! ’ 当氧压增加时!材料的电阻率显著增大实验中测量的所有样品的电阻率都保持正的温度系 ’ 数!并且在一个相当大的温度区间内与温度的平方呈线性关系’ 关键词$电子强关联! 绝缘