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MEMS质量鉴定试验 周峰 MEMS质量鉴定试验 配置在气囊上的AD加速度计 Motorola MEMS压力传感器 例子：空间和军事领域的质量认证 MEMS 质量鉴定试验——两个标准 Mil-std-883（目前是H版） Mit-std-810（目前是G版） 加速度计 加速度计由检测质量（也称敏感质量）、支承、电位器、弹簧、阻尼器和壳体组成。检测质量受支承的约束只能沿一条轴线移动，这个轴常称为输入轴或敏感轴。 配置在气囊上的AD加速度计 早期 早期三种模拟加速度计的设计 加速度计的设计信息 早期模拟加速度计鉴定标准中的试验 4590个器件中观察到的7个失效和失效分析情况 试验结果统计分析 4590个测试样品之中有7个失效，均为机械失效。加速度计B发生了粘连失效，但这是在高温工作寿命中出现的。由于该测试并没有机械冲击，因此认为粘连失效是因为在试验箱和电学测试转移过程中的不正常高机械冲击一起的。加速度计A为粒子失效。对于污染失效，建议进行元素分析，并确认污染源，以便消除失效（第3章）。该部分研究最有趣的莫过于加速度计C的失效了。下图表明了是跳偏失效。 早期弹簧设计呈现跳偏失效 这是一个很早期的弹簧设计。尽管在使用现场仅有0.218ppm的失效率是因为跳偏，上述案例表明随机跌落和机械跌落试验虽然非常严酷，但是它们可能带来加速因子较高的机械性失效。 MEMS 压力传感器 MEMS压力传感器是一种薄膜元件，受到压力时变形。可以利用应变仪（压阻型感测）来测量这种形变，也可以通过电容感测两个面之间距离的变化来加以测量。这两种方法都很流行，轮胎压力监测系统使用比较结实的压阻方法。 Motorola MEMS 压力传感器 早期Motorola使用了氟凝胶密封剂的压力传感器封装 荧光层 Motorola 压力传感器Media 试验介质表 不同介质试验的间隔时间 通过介质和时间试验的MEMS器件百分比 结果，硝酸试验的侵蚀性是最小的，由于海水含有氟和一定的的腐蚀性，其侵蚀性更强，有机溶液和水容易使保护性密封剂膨胀并改变其化学成分。 用于压力传感器试验的恒定加速度计实验装置平台 早期Motorola压力传感器的加速灵敏度通过恒定加速度技术来测量。在轮胎气压控制过程中，压力传感器的电压输出随着加速度计的变化而发生变化。 试验在三个恒定加速度等级上进行，并监测压力传感器的输出。 早期Motorola压力传感器恒定加速度试验在500g、1000g、2000g水平的输出电压变化 空间和军事领域的质量认证 NASA等级的随机振动试验 DMD耐用性 NASA空间随机振动要求 总结了随机振动的要求，该要求通过透彻分析发射的振动条件而确定。振动源包括声学振动、引擎点火及涡轮泵等。这些条件与飞行器设计及组装过程相关。确定这些要求及其它许多空间实验条件的放法在文献MEMS reliability assurance guidelines for space applications中有简单的介绍。有趣的是，虽然这些条件都是与设计相关的，但振动频率范围都是从　２０　～２０００Ｈｚ，这和Ｍｉｌ－ｓｔｄ－８８３Ｈ一样。 NASA飞行许可试验中可靠性随机振动规范 持续时间：设计——三个正交轴上各3分钟 PF测试——三个正交轴上各2分钟 验收——条件与通过测试的条件一样 DMD耐用性——MEMS产品极限条件试验的例子 DMD（Digital?Micro mirror Device，数字微镜元件）：由美国德州一仪器公司（TI）开发，系一种极小的反射镜，这些微镜皆悬浮着并可向两侧倾斜10-12°左右，从而可构成启通和断开两种工作状态。为了获得不同的亮度，微镜启通和断开的速率还可以改变，工作时得用成千上万个微镜器件，并由DLP板进行控制。 DMD 测试平台 DMD耐用性——MEMS产品极限条件试验的例子 一个有趣的研究是关于军事上应用的耐振显示产品，Raytheon 1210耐振数字显示器（1210 DRD），但MEMS 1280 ×1024 DMD是系统的一部分。 Qualmark公司所生产的高加速寿命试验（HALT）系统作为实验所用试验箱。该环境试验平台能够在低温极限、高温极限、热冲击、振动及热振动综合下进行试验。由于试验是极限条件下进行的，可靠性寿命的预计不容易实现，但是试验本身能够暴露设计缺陷，在测试过程中发现失效，这有利于失效根源分析的展开（第5章）。 1210 DRD试验台的设计是为了满足常规大面积显示器套件（CLADS）测试程序的需要。下表总结了这些温度和振动试验结果。 QualMark（诺威特）高加速寿命试验箱HALT 1210 DRD极限高加速试验结果 图像的变大和变小主要是因为无热化失效