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一体化结构六维加速度传感器的设计木 吴仲城孟明 申飞戈瑜 中国科学院合肥智能机械研究所仿生感知与控制研究中心合肥230031 摘要：本文提出了一种基于单惯性质量块的一体化结构六维多维加速度传感器设计，介绍了传感器 的工作原理，采用有限元工具对传感器静态和动态特性进行了分析，给出了弹性体的应变分布、固有频 率及振型等，并给出了实验结果，传感器的各类误差小于1％。 关键词：六维加速度弹性体有限元分析 1．引言 在机器人力反馈或柔顺控制中，六维腕力传感器得到十分广泛的应用，但随着作业速度和控制精度的提 高，负载或手爪本身由于加速度的变化将产生附加的惯性力和惯性力矩，如何从六维腕力传感器得到的信息 中获取末端手爪与外界环境的接触力成为一个追切需要解决的问题。比较有效的手段是通过检测出末端执行 器的运动状态(包括各个方向的线加速度和角加速度)，对多维腕力传感器进行动力学补偿，但目前还没有 相应的检测手段。 随着微机械技术的发展，基于不同工作原理的多维微型加速度传感器纷纷推出，如压电式、压阻式、电 容式和光纤位移式等等，在结构设计上，有悬臂粱、双梁型、四梁型、岛型等，谐振质量块则有单质量块和 多质量块等形式f1】。如EGG公司生产的3355型是一种典型的合成式三维加速度计，在三个互相垂直的方 向上封装了三个各自独立的单维压阻式加速度传感器芯片。但由于多个惯性质量块的存在，质心的不一致带 速度传感器的设计，其结构类似三层薄片的三明治，其中薄层质量块固定在四个对称的横梁上，形成了四个 电容【2】。Ⅺ{in Park利用整体微细力n-r_与硅直接粘合(silicondirect SDB)技术研 Kwon和Sekwang bonding 制了一种一体化的三维压阻式微型加速度传感器，消除了维间耦合，能够直接从桥路输出得到各维加速度值 13]。但是由于这些传感器的成本高，使得它们没有能够像单维微型加速度传感器那样得到广泛的应用。另外， 这些多维加速度传感器都是只检测线性加速度，不能同时检测同一空间坐标系中运动对象的角加速度。 本文提出了一种新型结构的六维加速度传感器，其采用一体化结构和单惯性质量实现空间坐标系中被测 对象的三维线加速度和三维角加速度。文章分析了传感器的工作原理，运用有限元分析软件ANSYS对该弹 性体结构进行了静力和动力学特性的仿真分析，并对传感器的性能进行了实验。 2．多维加速度传感器原理及力学模型 2．1多维加速度传感器的基本工作原理 一般加速度测量都是根据惯性力原理，通过测量惯性力或者惯性力作用下弹性体敏感部位变形的大小来 实现的。根据牛顿第二定律，当质量块非匀速运动时，在世界坐标系中有惯性力为： F(r)=Mbi(t) (1) 式中：尺f)=限，R，E，尥，鸠，必)1，F和M为各轴向的惯性力和力矩分量； M为质量矩阵，其对角元素为质量块的质量m和质量块的转动惯量k，‰，厶； 王(f)--(ax，ay，az，口，，口，，a：)1，口和口为各轴向的线加速度和角加速度分量。 E型膜片是一种新型的传感器弹性体结构，采用十字梁将两个膜片连接，两个膜片分别可以用来测量力 和力矩。本文给出的新型弹性体结构将一个圆环形质量块加装在其中一端膜片上，使质量块的质心与膜片的 ’国家自然基金(NoNo和安徽省自然基金No．050420306支持项目。 203 中心重合，通过测量质量块产生的各轴向惯性力和惯性力矩进得到各轴向加速度和角加速度。弹性体的结构 示意图如图l所示。 在两个E型膜片环形敏感弹性区域的每个方向上各粘贴四个应变片，分别组成惠斯通电桥，在外加电压 作用下，当电桥的电阻发生变化时，相应的输出电压发生改变。以X轴向加速度测量为例，在传感器受加速 度作用后，膜片在质量块惯性力作用下的变形如图2(b)所示。上膜片不发生变形，下膜片的变形在电阻 Rl，R3位置受到张力，电阻变大：在R2，＆位置受到压力，电阻变小。设供电电压为K，则图2(a)中桥 路的输出信号大小为：