一种复合镀膜技术与大型装备.pdfVIP

一种复合镀膜技术与大型装备 范多旺 马国欣 (兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室 兰卅 730070) 摘要：一种由计算机全自动组态控制可实现离子清洁、蒸发镀铝、离子轰击聚合、蒸发镀氧化 硅(SiO)、蒸发镀氟化镁(MgF2)等工艺的大型工业真空设备，主要用于汽车灯具反光膜镀制． 关键词：汽车灯具；镀膜设备；组态控制；技术集成 1．引言 由计算机全自动控制的新型系列汽车灯具反射镜真空镀膜成套设备及复合镀膜工艺控制软件是 当今中高档轿车车灯生产的关键技术装备。国家标准(GB一10485—89)对汽车灯具反射镜的光学性能、 反射膜的附着力、耐候性等提出了明确要求。汽车灯具基底材料包括ABS塑料、BMC(热固性注塑料)、 Pc(聚碳酸酯)、PP(聚丙稀)……等。如何在保证汽车灯具反射镜光学性能达标的前提下通过先进 的组合镀膜工艺，实现高附着力与强抗劣化性能，即采用真空镀膜的方法，实现镀制高性能保护膜， 具有重要的现实意义。兰州交通大学自动控制研究所等单位承担十五期间国家科技攻关计划项目《计 算机全自动控制超大容积汽车灯具镀膜成套设备及镀膜工艺研究》，完成的ZDL系列成套设备已装备 ’ 了国内二十多个汽车灯具企业，对我国汽车零部件工业做出了积极贡献。 2．设各主要技术性能 以ZDL一2051型为例，设备外形见图片一1，其主要技术性能参数如下： 2．1主要技术参数 真空室规格：中2050×2900mm卧式极限真空度：I×10—3Pa 工作真空度：2×lO-2Pa二次恢复真空时间：≤7min 静态漏率：1．OPal／s 设备总功率：200kVA 总耗水量：9舻／h 气源进口气压：≥O．6Mpa 重量：主机28T； 工件车28T 占地： 主机11000×6200×4370mm 工件车7000×10000mm 图l ZDL一2051型镀膜机照片 100 2．2设备基本配置 真空系统：分A、B双系统，每个包括： 2台K-S00TD油扩散泵 1台ZJPl200罗茨泵 2台HGL-150滑阀泵 1台2X．30A旋片泵 控制系统：采用上位计算机、过程控制计算机与PLC可编程控制器垒自动控制：配置氧化 硅(SiO)镀层测厚装置：工件转架无极变频调速装置等； 组合蒸发源：①镀铝(A1)蒸发源40kVA ⑦镀氧化硅(SiO)蒸发源45kVA ③镀氟化镁(MgF2)蒸发源45kVA 离子轰击源：①最大功率：20kVA ②轰击电压：0～3000V程控可调 工件转架及蒸发台：①工件转架：2套 ②工件自转轴数：10根，8根 ③蒸发源组件：2套(可移动) ④同时具有三种蒸发源 ⑤离子轰击源1套 工件车：@单车(纵向运动)：1台 ②双车(横向运动)：1套(2台) ③蒸发台接应车：1台 ④单双车运动：变频调速点驱动，PLC控制。 2．3可实现工艺及功能 镀膜工艺：①高压离子清洁 ②蒸发镀铝(A1) ③高压离子轰击 ④蒸发镀氧化硅(SiO) ⑤蒸发镀氟化镁(MgF_,) 功 能：计算机系统按照设定的各种工艺过程及参数，实现五种工艺过程的全自动组态控 制。 3．项目完成的主要研究内容 3．1