真空技术精华-崑山电子历程.ppt

真空的基本觀念崑山科大電機系張慎周 jchang@mail.ksu.edu.tw 資料來源: 蘇青森, “真空技術精華”,五南書局,2004 顯示器 用作顯示器的LED， LCD， TFT/LCD，以及CRT其導電玻璃，介電薄膜，導電膜等的製作均需要在真空中進行 有些顯示器如傳統的陰極射線管電視（CRT TV），電漿電視（Plasma TV）等其中有電子發射，故必需高真空 1 從歷史發展認識真空 2 絕對真空與真空的定義 3 真空壓力與真空度 4 自然界的真空 5 真空技術的基本量 6 真空系統的特徵 7 真空應用 1.從歷史發展認識真空 托里切利首先發現真空 義大利人托里切利（Torriceli）利用玻璃試管盛滿水銀倒置於水銀槽中，管中的水銀自然下降至76厘米高度，而在管的頂端留下一空間 此試管的空間他認為係空無一物的真空。 馬德堡半球實驗 德國馬德堡市長證明真空的力量，將兩個半球密合其中抽真空，兩邊各用四匹馬並未能將其拉開 2.絕對真空與真空的定義 何謂真空？ 絕對真空（absolute vacuum） 氣體壓力等於零的空間就是絕對真空 不存在任何包括氣體在內的物質，故絕對真空為一個氣體壓力等於零的空間 空間內的氣體壓力 空間（empty space）內既然沒有可看見的物質存在，剩下的當然即為氣態（gaseous）物質 討論真空即為討論空間內的氣體壓力 真空定義 即一個空間，其中的氣體壓力小於一大氣壓力者為真空 表示為：壓力＜大氣壓力 真空中的分子密度 ＜一大氣壓力的分子密度 N2.5X1019分子／厘米 3.真空壓力與真空度 真空壓力 真空中氣體的壓力簡稱為真空壓力，或直接稱為壓力 亦有用氣壓表示真空壓力者 真空壓力為氣體對真空系統的內壁每單位面積上所施的力，其單位為：力／單位面積 壓力的單位 國際壓力單位 1帕=1牛頓／平方米 1Pa=1N/m2 舊真空壓力單位 1托爾=1/760大氣壓力 1托爾=1毫米水銀柱 實用真空壓力單位 1巴=105帕 1毫巴=10-3巴（bar） 1毫巴=3/4托爾=100帕 1大氣壓力=1013毫巴 真空度 代表真空系統中壓力的程度 此名詞係我國工業界自創 相當於英文vacuum 低真空卻代表真空系統中氣體的壓力高者 高真空則代表真空系統中氣體的壓力低者 低真空以粗略真空（rough vacuum或coarse vacuum）取代 用真空度的名詞要特別注意以下的提示： 低真空（low vacuum）：高壓力 高真空（high vacuum）：低壓力 4.自然界的真空 地球表面到外太空 地球表面海平面為一大氣壓力，由地球表面向上氣體的壓力逐漸減低形成真空，離地球表面愈遠，壓力愈低，至外太空則為超高真空 標準大氣與標準大氣壓力 標準大氣壓力（standard atmospheric pressure） 溫度在20℃ 海平面高度，乾燥空氣所施的壓力，其值為1013毫巴 標準大氣成分 主要成分： N2──792毫巴 O2──212毫巴 次要成分及稀少氣體： Ar　9.47毫巴 CO2　0.31毫巴 Ne ?1.9x10-2毫巴 He ?5.3x10-3毫巴 CH4　2x10-3毫巴 Kr　1.1x10-4毫巴 N2O ?5x10-4毫巴 H2 ?5x10-4毫巴 各成分的總和為1013毫巴，即一標準大氣壓 若考慮水蒸氣的存在，則可加入己知相對濕度（relative humidity）的水蒸氣壓 5.真空技術的基本量 真空技術的基本量 壓力 抽氣速率（pumping speed） 氣流通量（throughput） 氣導（conductance） 阻抗（resistance） 抽真空時間（pump-down time） 放氣率（outgassing rate） 漏氣率（leak rate） 及單層附著時間（monolayer time） 抽氣速率 表示在系統中某一斷面或真空幫浦單位時間抽氣的量 抽氣速率的定義 抽氣速率的單位及換算 真空幫浦的抽氣速率 抽氣速率的定義 1.幫浦的抽氣速率 為在真空幫浦的進氣口每單位時間抽入幫浦中氣體的體積 2.真空系統的抽氣速率 為在真空系統中某一斷面每單位時間通過氣體的體積 抽氣速率實際上並非真正的量 因為單位時間通過氣體的體積中究竟有多少氣體分子並不得而知 相同的體積若氣體壓力不同其所包含的氣體分子可能相差甚多 抽氣速率的單位及換算 單位為：體積／時間 單位換算： 1公升／秒=1000立方厘米／秒=3.6立方米／小時 1立方米／小時=16.67公升／分=0.278公升／秒 1立方英呎／分=28.32公升／分=0.47公