临界角法离焦检测系统的研究.pdf

纪念马祖光院士全国光电子与光电信息技术学术研讨会论文集·哈尔滨2006 临界角法离焦检测系统的研究 郝贤鹏k2 (1中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033；2中国科学院研究生院北京100039) 籀要：离焦检测技术是激光直写设各的关键技术，直接决定激光直写设备的性能。临界角法离焦检焦是利用光波在临界角 附近的反射特性来检测聚焦状态，它具有分辨力高、损失光能小、结构简单、系统调试容易的特点，是亚微米级激光直写设 备聚焦伺服系统离焦检测的首选方法之一．根据菲涅尔公式，并通过合理假设。利用高斯光学公式可以得到离焦误差信号的 计算公式。实验采用单光路临界角法，利用He-Ne激光器、临界角棱镜、四象限光电探测器、信号采样电路、数据采集卡 等元器件组成了离焦检测系统，实现了离焦信号的提取：通过数字滤波、归一化处理等技术得到离焦误差信号(FES)，以此 获得了FES的大小和变化趋势与离焦量的关系曲线，为临界角法离焦检测系统的工程实现提供了参考． 关键词：激光直写：临界角法；离焦检测 onFocusErrorDetect with Method Study SystemCritical-Angle HAO Xian-pen91．2 Institute Mechanicsand (1 ofOptics,Fine Physics，ChineseAcademy Changchun 2GraduateSchoolofthcChinese 100039,Chin) AcademyofSciences,Beijing Abstract：Thefocuserrordetection isthe ofalaserdirect decidesthe techniquekeytechnology writingdevice(LDWD)，and with characterof wavecritical a of methodthe ofreflect light angle，ispreferred performanceLDWD．Critical·angletheory by methodofsub·micrometorLDWDbecauseofits as resolution,low frameworkand advantages。suchhigh light-energyloss,simple and tOcalibrate．111eofdefocusisdeducedwithGauss formulabasedonFresnelformula easy expression optical legalhypothesis． with consistsofHoNe Theerrorofdefocusis method．The laser,critical gainedsinglelightpathcritical·angle detectingsystem directionof