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位移光栅传感器及应用 白字 沈阳仪表科学研究院 沈阳市大东区北海街242号10043 摘要：在伺服控制系统中，对于有精度要求的位移和位置的控制，需要检测出位移及位置的准确位 置，通常用位移光栅传感器来检测．本文主要介绍了位移光栅传感器的特点、原理及细分技术．结合高 精度控制系统的要求，本文介绍了位移光栅传感器与单片机的应用接口工作原理，给出了实际工作电路． 对了位移光栅传感器的应用和推广具有一定的推动作用． 关键词：位移光栅 数字接口 位移光栅传感器，是一种在基体上刻有等间距的均匀分布条纹的光学元件。由标尺光栅和指示光栅组成 的。随着光栅的刻制技术、电子技术的发展，光栅摩尔条纹细分技术的不断改进，以及计算机处理技术的飞 速发展，位移光栅传感器在近些年也得到了快速的发展。利用光栅进行位移测量，应用于电动机及执行机构 的闭环控制中，以实现较高精度的要求，已经是比较普遍的事情了。 1．位移光栅传感器 主要有光栅、光栅光学系统、光电接收电路系统组成。位移光栅传感器的原理，将移动光栅和固定光栅 重叠在一起，由于遮光效应，在光栅的垂直方向上会出现明暗相间的条纹——莫尔条纹，当光栅移动一个栅 距时，莫尔条纹也移动一个莫尔条纹的间距。在指示光栅上的敏感元件就接收到一次光脉冲，相应输出一个 电脉冲，通过计数电脉冲的数目，就可以测量指示光栅的位移X，即x=iW，其中i为电(光)脉冲的个数。只要 口足够小，就可以获得足够大的放大了的莫尔条纹间距。 光敏元件随着位移光栅传感器的移动，莫尔条纹亮暗之间连续的不断变化，输出的信号也是一个周期变 化的信号，波形近似于正弦曲线，如图2所示。 V y l 奏妻 - 、 卜≈ ／，。 饬＼ A UO ＼／ ＼／ Y 图1莫尔条纹的形成 图2对应栅光强度变化输出的电压波形图 为了辨别移动的方向，在指示光栅上安装2个光敏元件，其间距为B／4，这样它们的输出相位差为90。。 所检测出来的信号变化如图3。 平为oo一10—11一01—00。从电平逻辑的变化情况，可以辨别出指示光栅移动的方向。 342 厶 厶 厶 ／／＼ k ＼√／ ， ， ‰ ＼ ／ 如 ／＼： ＼／ ‘ ／／ ＼ 以 0 0 f ％ 0 ， O 11 10 00 01 11 10 11 01 00 1