基于Mie散射理论的微球体颗粒半径测量装置的分析与设计.pdfVIP

基于Mie散射理论的微球体颗粒半径测量装置的分析与设计 刊、国正 羽、强 (南京理工大学电子工程与光电技术学院 南京 210094 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春 130033) 摘要：应用Mio理论对微球体颗粒光散射的性质进行了理论分析与数值计算，运用该结果设计 了一种用于测量微球体颗粒半径的装置，一该装置结构简单，成本低、效率高，可以用于实际测量， 具有一定的实用性． 关键词：Mie散射理论；微球体；测量装置 1．引言 在科技飞速发展的今天，微电子技术、光刻技术以及以光刻技术为核心的超大规模集成电路制 造技术取得了飞速的进展，促进了微光学技术的发展，人们所能加工出来的光学元件的口径也越来 越微小了。最近，直径为15肛m，在入射光波长为9．3肛m的照射下，分辨率能达到旯／5的微球体 透镜已经通过微加工手段制造出来。另一方面，以化学自组装技术为基础的光子晶体制造工艺也进 一步成熟，据国外文献报道，美国的许多公司已经能制造出直径为0．02—90／比m的单分散胶体球状颗 粒。 对于微球体颗粒半径进行精确测量可采用原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)等仪器。然而 这些仪器比较昂贵，远远超过了一般科研单位及人员的支付能力。本文根据微球体颗粒光散射的特 性，应用Mie散射理论分析了微球体颗粒光散射的性质并设计了一种用于测量微颗粒半径的比较经 济实用且结构简单、容易制作的实验装置。 2．应用Mie散射理论研究微球体颗粒光散射的性质 对口径接近入射光的波长的光学元件进行分析时，由于入射光在其表面的衍射会引起幅度和相 位的变化，以至影响到它的聚焦性能，因此标量衍射理论与矢量衍射理论都不能准确地对透镜的光 学性质进行分析。甚至，有的文献还采用几何光学方法来进行分析，这样的结果很不精确。目前， 用于对直径与入射光波长数量级相同的光学元件分析的应用得比较广泛的理论是Mie理论。G．Mie 在1908年发表的一篇论文中，在电磁理论的基础上，对平面单色波被一个位于均匀媒质中具有任意 直径及任意成分的均匀球衍射得出了严格解。以后，很多学者在专著及论文中，把Mie理论在各个 领域中完善、扩展，解决各自领域的相关问题，直到现在，人们对Mie理论的研究仍在进一步深入。 光波被真空中或均匀非吸收介质中的球状颗粒的散射可由Mie散射理论形式给出。该理论的精确解 可在通过矢量球谐波展开形式得到。散射光振幅E与光强L由下式给出： E，：!兰喜【刍。叉(口)c。s≯一；．叉(口)sin≯】 r Ic II=El×E：l l∞12 墨少喜耥k咖k(C0s舭驰盹(cos伽 跚)=喜端k(硼h(cos啪％㈣纵cos剀 姒五朋，=畿器％糕，刀沙^‘．，扎x)告^【工)一亏^【x)y^【，，王x) 驰川=嚣警等岽黠怒 死=盎 咖： ÷‘2方 3．微球体颗粒散射光的分布规律的数值计算结果 波长k微球体颗粒半径a、相对折射率m，便可得出散射光强五的分布与它们的关系。 3．1入射光波长对散射光分布的影响 · 图1给出了对应于不同入射光波长时散射光强五的分布曲线。可以看到，入射光波长越小，散 射光能量越集中地分布在散射角较小的范围内。从测量的角度来说，散射光分布越集中，观察得越 清晰、采集的信号越强、测量越准确，因此实际中不应使用红外光源。然而紫外光对人体有伤害， 不易直接观察调试。因此，可以采用可见光中波长较短的紫光或蓝光作为光源。 3．2相对折射率对散射光分布的影响 图2给出了对应于不同折射率时散射光强五的分布曲线。可以看到，在卢压／2／o(五为0=0 ’ 处光强)处，折射率的变化对光强的影响很小。尤其在观测同类物质颗粒时，颗粒间折射率差异很小， 由此所引起的测量误差可以