原创力文档- 1、本文档共5页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
基于小波变换的SEM自动聚焦技术.pdf
第29卷第4期增列 仪 器 仪 表 学 报 V01．29No．4
兰塑!笙堡旦 ． 堡垒!望里塑!旦坚婴型旦!塾i嬖垡鱼!!璺墨塑堡型 垒竖兰塑墨．
基于小波变换的SEM自动聚焦技术
李勇滔12韩立1
(1中国科学院电工研究所北京100190；
2中国科学院研究生院北京100039)
摘要扫描电子显微镜(S蹦)是用于观测微纳操作的理想仪器。为了快速准确地获取清晰的SEM显微图像，提出一种基于
小波变换的SEM自动聚焦技术。首先，本技术采用基于具有较小分解层数的小波变换的图像清晰度评价函数对SEg显微图像
进行分析评价，并且根据评价结果以大步距遍历搜索函数峰值，直至第一次经过峰值。接着，增加小波分解层数，在利用基
于具有较大分解层数的小波变换的图像清晰度评价函数评价图像之后，以小步距进行局部搜索，直至搜索到清晰的SEM显微
图像，完成S脒的自动聚焦。实验证明该s删自动聚焦技术准确有效，具有较强的鲁棒性和实时性。
关键词SEM显微图像自动聚焦小波交换
SEMAutofocus BasedonWaveletTransform
Technology
Li HanLil
Yongta01·2
Institute 100190
(1 ChineseAcademyofSciences China；
ofElectricalEngineering Beijing
2GraduateSchool 100039
AcademyofSciences China)
ofChinese Beijing
Electron themain
Abstract instrumentfor micro／nano
Scanning Microscope(SEM)is observing manipulation．
to distinct and
Inorder SEM aSEMautofocus
acquire accurately,thispaper technology
imagequickly presents
wavelettransform a Oil
evaluationfunctionbased
using method．First，thistechnologyemployedsharpness
image
transformwith scaleto tothe
wavelet small evaluateSEM
decomposition consecutively,and
文档评论（0）