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电子束加I技术 基于扫描轨迹控制的电子束加工技术 on ElectronBeam Based TrackControl ProcessingTechnologyScanning 上海交通大学焊接工程研究所 李少青王学东 张毓新姚舜芦凤桂 [摘要]在通用真空电子束焊机的基础上配置两 接和需要局部区域均匀加热，或者按特殊路径扫描加 对电子束偏转线圈、工控机(IPC)、NI多功能数据采集热的真空电子束钎焊，尽管通用真空电子束焊机具有 卡、功率放大器以及虚拟仪器软件LabVIEW，构建一简单的扫描控制功能，可以生成正弦波、方波、圆…… 个电子束扫描控制系统。利用该系统可对电子束扫描 几种固定的扫描波形，但扫描范围有限。世界许多国 轨迹、扫描频率以及加热区域电子束能量密度的分配 家研究者为此进行长期不懈的研究，对电子束偏转控 进行离线编辑，以及对扫描轨迹、电子束束流进行实时 制系统进行一次一次革新[1-4]。电子技术、自动控制 调节和控制。使用该系统进行了不锈钢毛细管板结构 技术、计算机技术的高速发展，为电子束扫描加热过程 的钎焊试验；对铌钛异种合金采用不对称热输入的扫 的精确控制提供可行性。本课题建立了一套基于IPC 描加热方式进行焊接；对于不能直接焊接的异种金属 控制的柔性电子束扫描控制系统。利用该系统可对电 子束扫描波形、扫描路径、扫描方式、扫描频率进行离 (如Re—Ti)，可使用本系统的扫描加热技术，通过粉 末冶炼制备中间过渡层。 线编辑；对电子束扫描路径、扫描加热时间以及电子束 关键词：电子束加工技术 扫描控制系统 扫描 束流大小可进行在线调节，并可将电子束扫描三维能 轨迹电子束能量 量密度分布显示在窗口中。该系统能适应焊缝形状复 A electron 杂、接头输入能量配比可控以及大面积扫描加热的特 vacuum beam 【ABSTRACT]general a 殊加工要求，为电子束加工技术在钎焊、重熔、表面改 machineis withcontrol ofelectron equipped system beam is oftwoelectronbeam性、异种金属焊接、快速成形等领域的应用创造了条 composed scanning，which deflection 件。 coils，industrial personalcomputer(1pc)，NI multifunctional DAQ(data acquisition)card，power 1 电子束扫描控制系统的组成 LabVIEW instruments(VI)software amplifier，virtual 电子束扫描控制系统由电子束焊机、工业控制计 andSOon．Scanningtrack，scanningfrequency，energy ofthe at distributionelectronbeam zone densi