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真空技术简介 二.管道的流导计算 气体流量、流阻、流导的基本公式 气体沿管道的流动状态 气体沿管道的流动状态可分为四种： 一、湍流 二、粘滞流 三、分子流 四、粘滞-分子流 三. 真空获得—真空泵 1654年，德国物理学家葛利克发明了抽气泵，做了著名的马德堡半球试验。 原理：当泵工作后，形成压差，p1 p2，实现了抽气。 真空泵的分类 气体传输泵: 是一种能将气体不断地吸入并排出泵外 以达到抽气目的的真空泵，例如旋片 机械泵、油扩散泵、涡轮分子泵。 气体捕集泵: 是一种使气体分子短期或永久吸附、凝 结在泵内表面的真空泵，例如分子筛 吸附泵、鈦升华泵、溅射离子泵、低温 泵和吸气剂泵。 真空泵的主要参数 抽气速率: 定义为在泵的进气口任意给定压强下，单位时间内流入泵内的气体体积 或表示为： 其中，Q为单位时间内流入泵的气体量。 泵的抽气速率S并不是常数，随P而变。 极限压强 (极限真空) 最高工作压强 工作压强范围（ ） 泵能正常工作的压强范围 几种常用真空泵的工作压强范围 旋片机械泵 吸附泵 扩散泵 涡轮分子泵 溅射离子泵 低温泵 机械真空泵 机械真空泵的型号组成 真空泵名称、代号 真空泵名称、代号（续） 真空泵型号示例 几种常用真空泵的工作原理1. 旋片机械泵 工作过程是： 吸气—压缩—排气。 定子浸在油中起润滑，密封和堵塞缝隙的作用。 主要参量是： 抽速和极限压强。 由于极限压强较高， 常用做前级泵(预抽泵)。 2. 油扩散泵 是：油蒸发—喷射—凝结，重复循环 由于射流具有工作过程高流速(约200米/秒)、高密度、高分子量(300—500)，故能有效地带走气体分子。 扩散泵不能单独使用，一般采用机械泵为前级泵，以满足出口压强(最大40Pa)，如果出口压强高于规定值，抽气作用就会停止。 3.涡轮分子泵 工作过程是：高速旋转叶片(30000转/分)—对气体分子施以定向动量—压缩—排气。 优点：无油，洁净，启动快，制动快，可忍受大气冲击。 缺点：由于高速旋转，不能在磁场中使用，否则会产生涡流，导致叶轮发热、变形等严重后果，对氢气等轻质气体抽速较小， 价格昂贵。 直联式真空泵的工作原理 四.真空密封 真空静密封 静密封是指连接件不能做相对运动的密封。对于低真空和高真空，可拆静密封一般采用弹性很大的橡胶做密封材料。超高真空的可拆静密封由于受高温烘烤和出气率的限制，通常都是用软金属做密封材料。 密封材料 （一）橡胶密封 （二）氟塑料密封 （三）金属密封 真空密封的设计 密封槽的设计 真空密封槽有各种形式，设计密封槽的截面面积要求稍大于橡胶密封圈的截面面积，橡胶压缩后的充填因数﹥1, 橡胶的压缩量通常为15%~30% 橡胶密封槽的形式 橡胶密封槽的形式（续） 超高真空法兰连接图 * * 2011年 11月5日普乐新能源（蚌埠）有限公司 旋片式机械泵 水冷套； 2. 喷油嘴； 3. 导流管； 4. 泵壳； 5. 加热器 1. 动叶轮；2. 泵壳；3. 涡轮排； 4. 中频电动机；5. 底座；6. 出气口法兰； 7. 润滑油池；8. 静叶轮；9. 电机冷却水管.