射频螺线管微电感的设计和仿真.pdf

V01．19 第19卷第5期 传感技术学报 No．5 CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS 2006年10月 JOURNAL 0ct．2006 The andSimulationoftheRFSolenoidMicroinductor Design FANG Xiao—lin，WANGXi—ning，ZHOU Dong—ming+，ZHA0 Yong ofNano／MicroFabrication andMicrofabricationofMinistry ／NationalKeyLaboratory TechnologyKeyLaboratoryforninFilmof、 ＼EducationResearchInstituteMicro／NanoScienceand Jiao 200030，China／ of Technology，ShanghaiTongUniversity，Shanghai orderto MEMSsolenoid consideredthe Abstract：Inget microinductors，we high—perfcIrmance onthe oftheinductor，andsimulatedaninductor parameters’effectsperformance usingHigh simulationtothatthe StructureSimulator(HFSS)．Theresultofthe iSsimilar of fahricated have overwide of measurementresultshowsthattheinductor Q-factor high rangeoperatingfrequency， usedinthefield communication． whichcanbe ofWireless MEMS words：solenoid factor；RF Key inductor；HFSS；quality EEACC：2575；2140 射频螺线管微电感的设计和仿真 方东明。，赵小林，王西宁，周 勇 (上海交通大学微纳科学技术研究院，微米／纳米加工技术国家级重点实验室，薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海200030) 摘 电感进行仿真，仿真结果与实验研制的测量结果基本相符．测试结果表明微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值，可以 应用在无线通讯领域． 关键词：螺线管电感；HFSS；品质因素；射频微机电系统 中圈分类号：TM55 文献标识码：A 现今CMOSIC技术还不能很好地提供高频电 的螺线管微电感由于采用了立体结构，寄生电容和寄 路所必需的高性能射频(RF)元件，然而，片上集成生电阻引起的寄生损耗降低，提高了电感的Q值． RF MEMS技术可以增强高速IC芯片的射频功能， 为了节