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第十步:固化 将封好胶的PCB印刷线路板放入热循环烘箱中恒温静置,根据要求可设定不同的烘干时间 第十步:后测 将封装好的PCB印刷线路板再用专用的检测工具进行电气性能测试,区分好坏优劣 四 COB技朮的發展和應用 4.1 压焊技术的发展历史 4.2 压焊技术的应用 1957年,贝尔实验室首先展示了压焊技术。 随着微电子技术的不断发展,压焊技术也得到了全面发展,主要表现在以下几个方面: 全自动设备已应用于压焊工序 压焊的各项参数都可以精确的进行监控 压焊的速度已达到 100—125ms/焊接 压焊的最小间距已达到 50μm 通过改良压焊头的结构及相应工序,大大提高了压焊的可靠性 4.1 压焊技术的发展历史 由于压焊工艺具有高可靠性,高品质,工艺成熟,操作简单,成本低廉等优点,目前广泛应用于微电子封装领域,在世界半导体元器件行业中,90%采用压焊技术,其中,采用球焊工艺的占93%,平焊工艺的占5%。主要表现在以下领域: 1 陶瓷和塑料球栅阵列封装的元器件,如PBGA 2 陶瓷和塑料象限扁平封装的元器件,如PQFP 4.2 压焊技术的应用 3 小芯片尺寸的封装器件及多芯片模块,如CSP,COB,MCM 4 场效应晶体管放大器,如JCA放大器 5 微波及半导体器件,如低群延迟接收机 6 动态随机存取存储器,如DRAM * COB制程技術研究 目 錄 一 前言 二 綁定技术介绍 三 COB制作工艺流程 四 COB技朮的發展和應用 一 前言 在電子技術快速發展帶動下,小型化的攜帶式電子產品,不再是遙不可及,已成為風行全球的發展趨勢。最具代表性的例子,如薄型筆記型電腦、個人數位助理(PDA)、移動電話、數碼相機,均是時下最熱門的電子產品。這些小型化攜帶式電子產品中,由於IC晶片的廣泛使用,也使得半導體的技術發展一日千里。在未來電子產品不斷朝向輕薄、短小、高速、高腳數等特性發展的潮流下,其中除電子元件是主要關鍵外,COB (Chip On Board)已成為一種普遍的封裝技術,各種型式的先進封裝方式中,晶片直接封裝技術扮演著重要角色。 二 綁定技术介绍 2.1 Wire Bonding 是什么? 2.2 压焊放大图 2.3 Wire Bonding 的方式 2.4 Wire bonding 所需的设备及物料 2.5 压焊的工序控制 2.6 丝线压焊生产工艺特点 2.7 压焊工艺的评估 Wire Bonding (压焊,也称为綁定,键合,丝焊)是指使用金属丝(金线等),利用热压或超声能源,完成微电子器件中固态电路内部互连接线的连接,即芯片与电路或引线框架之间的连接。 2.1 Wire Bonding 是什么? 2.2 压焊放大图 Wire Bonding 的方式有两种: Ball Bonding(球焊)和 Wedge Bonding (平焊/楔焊) 1 Ball Bonding ( 球焊) 金线通过空心夹具的毛细管穿出,然后经过电弧放电使伸出部分熔化,并在表面张力作用下成球形,然后通过夹具将球压焊到芯片的电极上,压下后作为第一个焊点,为球焊点,然后从第一个焊点抽出弯曲的金线再压焊到相应的位置上,形成第二个焊点,为平焊(楔形)焊点,然后又形成另一个新球用作于下一个的第一个球焊点。 2.3 Wire Bonding 的方式 Ball Bonding 图 2 Wedge Bonding (平焊/楔焊) 将两个楔形焊点压下形成连接,在这种工艺中没有球形成。 Wedge Bonding 图 Wedge Bonding 焊点示意图 Ball Bonding 焊点示意图 3 球焊和平焊的主要区别 (1)两者的焊点结构 a 球焊的第一个焊点为球焊点,第二个为平焊点。 b 平焊(楔焊)的两个焊点都为平焊点。 压焊头一般选用耐磨,耐氧化,容易清洁的材料。球焊使用毛细管头,一般用陶瓷或钨制成。 球焊用毛细管头示意图 (2)两者所用压焊头 a 球焊选用毛细管头;焊点是在热(一般为100-500℃)、超声波、压力以及时間的综合作用下形成的。 平焊使用楔形头楔形头一般用陶瓷,钨碳合金或钛碳合金制成。 b 平焊选用楔形头;焊点是在超声波能、压力以及时间等参数综合作用下形成的。 一般在室温下进行。 (2)球焊机 2.4 Wire bonding 所需的设备及物料 1 压焊机 (1)平焊机 2 金属线 目前,最常用的是金线( Au ,Cu)和铝线( Al , 1%Si/Mg)。最常用的金属线的直径为:25 – 30μm。 (1)金线压焊用于大批量生产的
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