彩显管GR计的真空计量与电离真空计的比对校准.pdfVIP

彩显管GR计的真空计量与电离真空计的比对校准 汤建中 孙公方 张伟钱永生 上海永新彩色显像管股份有限公司 200237 摘 要：作者依据ISO／DIS3568的有关规定。建立了一套以FB一1型副标准电离规为参考规的超高真空动平衡 比对校准系统。经测试。该系统的各项性能指标均优于国家规定的真空计量二等标准器具的要求。至今。我们已利用 这套系统：(1)对公司现有的3种型号电离真空计开展了比对校准；(2)时辞司生产的3种管型所用GR计进行了真 空计量；(3)对残气分析用四极质谱计的总压力输出值进行了标定。 本文简介了比对校准的原理、系统的结构特点、校准方法和性能指标的实测结果；并对本系统在GR计的计量和 电离计校准方面的应用实例作了介绍。 关键词：真空计量 比对校准副括准规校准系数GR 一、引 盲 在彩显管生产和寿试过程中，为无损检测管内真空度，通常是把电子枪的几个电极按电离真空规的原 A，mA)被称为“含气系数” 理连接，测出管内离子流(Ii)用它与产生离子流的电子流(Ie)相比，其比值(p (Gas 值的大小来相对地表征管内真空度的高低。为适应生产技术的推进，便于准确分析不良品产生的原因以及 测试成品管内吸气剂钡膜吸气性能圆的需要，便提出了对GR计进行真空计量的迫切要求，以便能从GR计 上直接读取管内真空度的数值。 我公司五条生产线上使用的排气小车和蒸铝小车近千台，这些小车维修保养后的真空性能(在设定时 间内达到规定的真空度)是用电离真空计来判定的。真空计指示值的准确度不仅取决于真空计控制单元 (二次仪表)电参数变化的影响，还取决于真空规管(传感器)的精度。为加强设备管理和产品质量控制，也 有必要开展真空计量工作。 在对成品彩显管进行残气分析和扫屏放气性能测试中，为避免B—A规对测试结果的干扰，我们是用四 过标定。过去，受条件所限，QMS的总压力值仅在残气分析系统上利用B—A计进行“原位校准”，这显然是 不够严格的。而今，利用这套标准的比对校准系统校准便可得到准确的标定值。 二、比对校准的原理与系统的结构特点 1．原理 真空计校准的方法分两类：一类是绝对校准法，包括 ‘一 静态膨胀法【习、动态流导法网和分子柬法m等；另一类是相对 比较校准法，本装置便采用这种方法。它采用高精度高稳 眦霹‘拇飞P记 定度的压力传感器(副标准规)及其二次仪表(标准电离 习盛～…。≯尊≤④ 计)作为参考标准(其量值能溯源到绝对标准)把被校规 和副标准规同时接在一台压力可调的系统中的等压面上 进行测量结果的直接比对嘲。目前，国际上已普遍应用相 对校准装置对工作用电离规进行校准。上世纪六十年代以 ．．154．． 来ISO及各国相继制定了相对校准的标准嘲删、【lol。我国在1981年也制定了有关的检定规程…】。 在校准室的规定位置上接有数只规管(如图1所示)，规管数量通常是奇数，经烘烤除气后，先将其抽 至超高真空，然后，调节微调阀(V。)通过特殊设计的充气管源源不断地向校准室内充人校准气体(N：)，这 些气体又源源不断地被真空泵抽走。当充人的气体流量(QN：)等于被泵抽走的气流量时，校准室内压力 比对校准的目的。 设校准室内的极限真空度为Pu，该气体通过流导为C的连接管道，被抽速为sP的泵抽走，这时系统对 校准室的有效抽速为se，当进出气体出现动态平衡时的平衡压力P为： n Cur 聘詈+Pu=Q。：×素杀+Pu．．……………………．．(1) 一” rp’一， ． 通常，P。P，则式(1)可简化为： n Cv，1 P-挚=Q。，×杀二嘉………………………………………(2) … 3e L3p+U 由于系统的有效抽速(Se)在压力(P)一定时基本上是一个常数，于是通过调节V。阀