微麦克风读出电路的设计和仿真.pdfVIP

第27卷第5期 声学技术 Vbl．27．No．5Pt．2 2008年lO月 TechnicalAcoustics Oct。。2008 微麦克风读出电路的设计和仿真 齐敏，乔东海 (巾蓬羲学貔声掌骚究雳，l￡寨，l∞l∞) andsimulationof readoutcircuit Design microphone Ql Mi珏，Q琏0跏粥一瓢i lool90，Ch妇诹) llns蛀nne僻AcoHs龇s，Cht船seAc确emy讲sc记黼es。B嫡证g 主弓l瑟 的输入电容。 lllEMS工艺提供了在微小硅片上加工禽有复杂2．2电容隔直源跟随器 功能集成系统的能力，由于其体积小、成本低、产 量高等优势，近年来醚￡蓊徽传感器得囊了迅速酌发 展，并为后续集成化读出电路的设计提出了巨大挑 战。本文系统地分析了制约电容式微麦克风高精度 读出电路设计豹主要园素，会绥了一季孛读出电路结 构，并对其主要设计参数进行了分析对比。由于 MEMS传感器的结构微小，容易受到各种噪声和环境 Vl 的干扰，提高分辨攀是淹澄读窭电路设计靛重点 【1]。 2读出电路设计 豳1电容碲越读出电路 2．1制约因素 c咖it Rg．1capaci衄∞upIillg陀adout 设计读出电路的制约因素主要有三点。 ￥l：等效直流偏置电歪源 首先，在醅E潲传感器集戒系统中，读出电路的 V2：等效微麦克风交流小信号 电噪声远大于传感器的机械热噪声，因此系统分辨 Rl：偏置电路输蹬电阻 率很大程度上由读出电路的噪声性能所决定。读出 el：偏置电路输蹬电容 电路主要的噪声源有：放大器的输入等效热嗓声、 R2：微麦克风等效电阻 1／f噪声，反馈网络的热噪声，开关的KT／C噪声， C2：微麦克风等效电容 激励信号的噪声等。这些噪声成分的贡献与所采用 e3：隔直电容 的电路结构有很大关系，一般情况下，放大器的输 入噪声占烹导成分，但是其它噪声成分在某些电路 读出电路采用源极跟随器结构，即可以起到阻 形式中也会起到主要作用【l】。 抗变换的作用，又可以最大程度的减小电路嗓声， 其次，电容式微麦克风需器一个直流电压为其 提高系统分辨率。同时源服随器可以通过Boot— 提供偏置，从而将声压引起的电容变化转化为电压 strapping技术，屏蔽读出电路输入输出之间的连 信号或者电流信号，为进一步的信号处理傲准备。 线寄生电容[2‘3】。 如何提供可靠面稳定的直流偏踅对读出电路是一 输入等效嗓声主要由输入管和负载管引起