2014-20-微系统与微细加工摘要.ppt

牺牲层技术 牺牲层技术也叫分离层技术。 牺牲层技术是在硅基板上，用化学气相沉积方法形成微型部件，在部件周围的空隙上添入分离层材料(如Si20)。最后，以溶解或刻蚀法去除分离层，使微型部件与基板分离，也可以制造与基板略为连接的微机械，如：微静电电机、微齿轮、曲轴和振动传感器的微桥接片等。 外延生长技术 外延生长是微机械加工的重要手段之一，它的特点是生长的外延层能保持与衬底相同的晶向，因而在外延层上可以进行各种横向与纵向的掺杂分布与腐蚀加工，以制得各种结构。 国外发展现状 1959年，Richard P Feynman（1965年诺贝尔物理奖获得者）就提出了微型机械的设想。 1962年第一个硅微型压力传感器问世。 1965年，斯坦福大学研制出硅脑电极探针。 1987年美国加州大学伯克利分校研制出转子直径为60～12μm的利用硅微型静电机。 1994年《美国国防部技术计划》报告，把MEMS列为关键技术项目。 日本通产省1991年开始启动一项为期10年、耗资250亿日元的微型大型研究计划，研制两台样机。 欧洲工业发达国家也相继对微型系统的研究开发进行了重点投资。 国内现状 我国在科技部、国家自然基金委，教育部和总装备部的资助下，一直在跟踪国外的微型机械研究，积极开展MEMS的研究。 广东工业大学与日本筑波大学合作，开展了生物和医用微型机器人的研究。 长春光学精密机器研究所研制出直径为Φ3mm的压电电机、电磁电机、微测试仪器和微操作系统。 上海冶金研究所研制出了微电机、多晶硅梁结构、微泵与阀。 上海交通大学研制出Φ2mm的电磁电机 南开大学开展了微型机器人控制技术的研究等。 我国已能进行硅平面加工和体硅加工、LIGA加工、微细电火花加工及立体光刻造型法加工。 发展趋势 微型机械加工技术的发展刚刚经历了十几年，在加工技术不断发展的同时发展了一批微小器件和系统，显示了巨大生命力。 微型机械是一门交叉科学，随着微电子学、材料学、信息学等的不断发展，微型机械具备了更好的发展基础。 微型机械加工技术作为微型机械的最关键技术，也必将有一个大的发展。 我国在微型加工技术发展的优先发展领域是生物学、环境监控、航空航天、工业与国防等领域。 关键技术 微系统是一个新兴的、多学科交叉的高科技领域，其涉及许多关键技术。当一个系统的特征尺寸达到微米级和纳米级时，将会产生许多新的科学问题。 微系统研究领域的前沿关键技术有： 微系统设计技术 微细加工技术 微系统组装和封装技术 微系统的表征和测试技术 微型机械将逐步走向实用化，对工农业、信息、环境、生物医疗、空间、国防等领域的发展将产生重大影响。 医学：微系统可用于视网膜手术、修补血管等。 工业：微型机电产品可以在管路检修和飞机内部检修等狭窄空间和恶劣环境下进行诊断和修复工作。 航空航天：制造自适应性蒙皮，用以改善气流特性； 汽车：在轮胎内嵌入微型压力传感器用以保持适当充气，避免无气过量或不足，仅此一项就可节油10％。 微纳制造技术的应用 微系统与微细加工的应用和产品 1. 世界上最小的单人直升飞机 75岁的日本研发者平贺柳泽 2008年5月25日，这架重75公斤的直升机在佛罗伦萨附近的达芬奇市进行演示飞行。 代号是GEN H-4，它有2个向相反方向旋转的水平旋翼，最大飞行速度可达每小时50公里(31英里/时)。吉尼斯世界记录13日承认它是世界上最小的单人直升机。 微系统与微细加工的应用和产品 ２.世界上最小的直升机 微系统与微细加工的应用和产品 ３.世界上最小的电脑仅骰子大小 日本Shimafuji公司研制——“空间立方体”，专门为太空环境设计的计算机，可用于美国宇航局(NASA)、欧洲宇航局(ESA)和日本宇宙航空研究开发机构(JAXA)进行连接通信。 微系统与微细加工的应用和产品 ４.世界最小的口袋便携投影仪 ４.世界最小的口袋便携投影仪 澳大利亚Mint Wireless Limited2008年9月推出的世界上最小的商业化便携投影仪 ； 外形尺寸125x55x23mm（比iPhone长一厘米）； 可在1.8米距离内投射50寸的多媒体画面。 微系统与微细加工的应用和产品 ５.英国伯明翰大学Lilliputian petrol engines Assembled cryogenic engine made by SU-8 微系统与微细加工的应用和产品 微型机器人 * * 微细加工技术 相互啮合的传动齿轮组 公牛三维图形 在硅基板上定向生长的碳纳米管 用48个铁原子排列在铜表面上形成一个圆形围栏 纳米机器人 纳米泵 纳米小车 纳米差分齿轮 碳纳米管齿轮 显微镜下的齿轮机构和螨