在现代科技发展中,光电科技可说是新兴的领域,其应用涵盖各重要的领域.doc

新世紀奈米級光電材料結構 -- 光子晶體 楊志忠 國立台灣大學光電所 e-mail: ccy@cc.ee.ntu.edu.tw 摘　　要 光子晶體(photonic crystal)係在二維或三維空間中，讓材料折射率或介電常數產生週期性變化的結構，這種結構模仿原子在固態晶體中的排列。因此，類似電子於固態晶體中的能帶結構，產生光子的能帶結構。在光子晶體中，電磁波的傳播特性，包括振幅、相位、偏極化方向和波長，都可以經由控制發光頻譜、群速色散、偏極特性、相位匹配等光子晶體的特性而得以大幅度的調變。光子晶體結構的尺寸約為光訊號在材料內波長的四分之一，所以在大部份光電應用波段內，其尺寸在二十五到一百奈米之間。本文將簡介各種光子晶體的結構，包括以半導體及光纖為素材的光子晶體，並說明其一些特殊的光電特性以及可能的應用。光子晶體可以提供許多新型光電元件的製作，尤其重要的是可以大幅縮小元件的體積，並從事密集的積成，預計將對光電技術發展產生革命性的影響。 一、前言 在現代科技發展中，光電科技乃為新興領域，其應用涵蓋各重要範疇，如光纖通訊、光顯示、光資訊儲存、高效率照明及生物醫學方面的應用。隨著光電科技在基礎研究上不斷的突破，它已經在我們的日常生活中造成重大的影響，這樣的影響力並將持續而且擴大。最近十年來，光電科技在新材料的成長技術、新製程技術的發展、高功能元件之設計與製作以及成熟穩定系統的完成，都有傲人的成績。光電科技不僅是重要的科學課題，也是關乎經濟成長的關鍵工業。 在許多處理光訊號的元件結構中，由於電磁波相位週期性的本質，使得週期性結構成為關鍵要素。例如多種不同形式的光柵在所有光電系統中即占重要地位。另外，週期形式介電係數的電、聲、或磁式調變也應用於控制光訊號上。不論是材料的永久或動態調變，都代表電磁波基本參數的控制，包括強度﹝吸收、放射、散射﹞、相位﹝群速、群速色散﹞、偏振﹝非等向性﹞、波長﹝頻譜分佈﹞。這些控制可以經由微觀或介觀的材料成長、製程、幾何尺寸與波長相近之元件結構來達到目標。 二、光子晶體的概念與應用 光子晶體(或叫光子能隙結構晶體)的概念於1987年首先由Yablonovitch[1]及John[2]分別提出。但是它一直沒有受到太多的注意，直到最近這幾年，因為各種製作相關結構的製程技術發展成熟，光子晶體才受到注目。基本上，光子晶體是在二維或三維空間中，讓材料折射率(或介電常數)產生週期性變化的結構，這種結構模仿原子在固態晶體中的排列。所以，類似電子於固態晶體中的能帶結構，在光子晶體中就產生光子的能帶結構。因此，在光子晶體中電磁波的傳播特性，包括振幅、相位、偏極化方向和波長，都可以經由控制發光頻譜、群速色散、偏極特性、相位匹配等光子晶體的特性而得以大幅度的調變。特別是，如果在週期性的排列中故意安排一些瑕疵，將會在光子晶體的能隙範圍內產生一些狹窄的光子穿透頻道，進而衍生很多可以應用在元件上的新奇現象。光子晶體可應用於許多光電元件，包括：微小化低電流的半導體雷射、可調式半導體雷射、可調放射波長且高效率的發光二極體、高效率光放大器、低耗損的彎曲波導、微腔振盪器、可調式窄波通光柵、加減濾波器、多工器和分工器、動態增益平衡器、高效率開關、調幅器、小型化耦和器、光迴旋器、光路由器、高敏感性的感測器、超寬頻光源產生器、短脈衝產生設施等等。另外，如果能善用最大折射率的對比(空氣和所用材料的對比)，那麼二維或三維空間光柵所需要的尺寸將會大大地減小，這讓極度緊密的元件積成更容易實現。既然這種人造晶格的結構參數大小可以任意控制，各種光學元件密集的整合積體化將會更容易。光子晶體結構的尺寸約為光訊號在材料內波長的四分之一，所以在大部份光電應用波段內，其尺寸在二十五到一百奈米之間。 三、光子晶體結構與製作 在過去的三四年中，利用各種不同的材料，各式光子晶體的製作技術突飛猛進。研究成果包括：(一)利用乾式蝕刻在三五族半導體上產生空氣洞，配合於中心一個點瑕疵的安排，形成一個微腔半導體雷射的共振腔(參見圖一 – 二維光子晶體結構中心瑕疵的上視圖)[3]，這裡所謂的瑕疵即是週期性結構中某些位置該有空氣洞而未有洞；(二)在矽/二氧化矽結構或三五族化合物層上用空氣洞排列成彎曲的波導(參見圖二 -- 二維光子晶體結構中由線瑕疵形成的彎曲波導上視圖)[4,5]；(三)由具有特意安排空氣洞的二氧化矽細絲形成的光子晶體光纖(參見圖三 -- 光子晶體光纖的截面圖和近照圖─注意中心有一個瑕疵)[6]；(四)奈米尺寸小球自動組合形成的珍珠結構(opal)或反相珍珠結構(inverse opal) (參見圖四 -- 一個珍珠結構的例子)[7]；(五)以自行衍生(auto-cloning)技術生長二維或三維矽及二氧化矽交替區域結構[8]；(六)電化學蝕刻形成的微孔洞結構[