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三维形貌检测的自动参考栅象法研究.pdf
s3一 S7’
第27卷第6期 光 子 学 报 Vo1.27 No.6
1998年 6月 ACTA PH0ToNICA s1NICA June 1998
三维形貌检测的自动参考栅象法研究
徐建强王蕴珊 弋蚺
摘 要 拳文提出了一种用于曲面形貌硷洲的傅里叶变换法中的参考栅采圉的自动产生及误
差修正方法,通过对实际洲量囤亲的处理,证明谈方法具有很好的使用效幕,从而太太提高了
傅里叶变换法检谢曲面形貌的精度和实用性.
关蝴 ’
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— — — —
O 引富
三维物体表面形貌的测量在现代工业及实际生产中起着越来越重要的作用.随着三维物体表面形
状的非接触检测技术在科研、医学诊断、工程设计、刑事侦查现场痕迹分析,自动在线检测、质量控制、机
器人及许多生产过程中越来越广泛的应用,人们对三维形貌测量的要求也越来越高,而甩光学非接触法
对物体进行三维面形及其它性质的测量由于具有非接触、高精度、高效率等的特点,更是近几年来研究
的热点之一 近几年常用的方法是投影栅线法(包括傅里叶变换法 ’(Foru(er tnnsf0m prof.d0fnetry,
FTP)、相移叠橱形貌法(phase-shih moire topography,PMT),正弦空间相位检测法(sinusoidal spatial
phase detection,SPD)、相移投影橱线法(phase-shi|t grating projection,PGP)、相移逻辑叠栅法(phase-
shih and Logical moire,PSALM)等).其中傅里叶变换法具有测量精度高、应用范围广等特点,虽然数
据量大、计算复杂,但随着计算机速度和内存容量的不断发展,这已不再成为问题.根据傅里叶变换法
的原理,使甩正弦光摄时。只需要一幅变形摄象图就可解出曲面形貌.而使甩矩形光栅时。还需要未变
形的参考橱象,共两幅图象.本文提出了一种自动产生参考栅象,从而实现用矩形光栅只采用一幅变形
栅象解调出曲面形貌的方法,在实测中取得很好的
效果
1 测量原理简介
如圈1所示,周期性光橱G由投影仪投向被
测物体表面,投影光嚣受被测曲面高度的调制而变
形,摄象机采集到这一包含有被测曲面高度信息的
变形光橱象.设摄象机光轴与基面的交点0为原
点,光橱象周期方向为坐标x方向,垂直于纸面为
y方向.摄象机轴向为高度h(x, )方向.使用正 图1 投影和记录系统的几何光路
Fig.1 The optical geometry of the projecting end
弦光橱,变形光栅象g , )用傅里叶级效表示为
recording system
, )一口( , )+‘ ,y)exp(2,【ifo )+f’( , ) xp(一2,【i )
式中 =lip是基面上光栅象的空间频率} 为光撮象的栅线周期.对X轴进行傅里叶变换r得
收墙日期I19钾一12—29
\
554 光 子 学 报 27卷
G(f, )=A(,, )+C(,一,口, )+c’(,+,口, ) . (2)
由于n , )相对,o变化缓慢,所以在频谱图中它们与,口是分开的,即直流分量}而载频c(,一,口, )携
带有有用的相位信息,将其平移到原点为C(f, ).用一适当的滤波器滤’出载频分量,再进行傅里叶反
变换并取对数得
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