矽膠模具低溫電漿表面改質參數最佳化研究.pdfVIP

矽膠模具低溫電漿表面改質參數最佳化研究 矽膠模具低溫電漿表面改質參數最佳化研究 郭啟全 1 王盈傑2 1 2 明志科技大學 機械工程系暨機 明志科技大學 機械工程系 電工程研究所 暨機電工程研究所 摘要 本研究利用田口法直交表作為實驗參數規劃，探討不同的電漿功率、電漿改質時 間、氣體流量以及試片與電極之距離，對於改質後之矽膠模具表面粗糙度的影響。研 究結果顯示，影響矽膠模具表面改質後之表面粗糙度，最大因子為試片與電極之距離， 貢獻度約佔 69.73% 。製作出具有最低表面粗糙度第一次矽膠模具之最佳參數為電漿功 率 70 W 、電漿改質時間3 分鐘、氣體流量為25 sccm 以及試片與電極之距離為40 mm 。 運用最佳參數來製作菲涅爾透鏡精密金屬樹脂模具，金屬樹脂模具之深度與寬度平均 翻製率可分別達 92.4% 與98.1% ，金屬樹脂模具表面粗糙度改善率可達39.4% 。 關鍵詞：田口法 、矽膠模具 、表面粗糙度、金屬樹脂模具。 1.前言 需使用x 光進行微影與電鑄技術來製作微 模具；(c)運用微放電加工以及微細機械加 塑膠微米尺度結構的模造技術，因具 工等兩種方法，受限於加工刀具尺寸，對 備低成本且可大量生產的優點，所以此技 於製作微模具之微結構最小尺寸以及表面 術已經成為微製造常用技術。微模具 精度將受到限制；(d)運用精密雷射加工技 (Micro-featured mold是為因應微尺寸產品) 術所需之硬體非常昂貴。為了解決此一問 而發展出來的成型工具，微模具製作方法 題， Chung 等人(9) 、Tang 等人(10)與Thian 包括： (a)矽基微細加工 (Si-based 等人(11)運用矽膠模具來製作微模具，並應 micromachining technology) (1) ；(b)微影模 用於微結構零件製作，解決微模具製作昂 造 技 術 (Lithographie galvanoformung 貴之缺失，但是這一些微模具屬於軟模， abformung, LIGA) (2) ；(c)雷射加工技術 (3) ： 無法應用於微熱壓印成型或微射出印成 例如：利用準分子雷射 (Excimer laser)與飛 型。 秒雷射 (Femtosecond laser) ；(d)微放電加工 鑑於精微元件需求與日俱增。所以， (Micro Electro discharge machining) (4) ；(e) 開發可應用於微熱壓印成型或微射出印成 微細 機械加工(Micro machining)技術(5) ；(f) 型之精密快速模具，即變成