《传感器与检测》胡向东ch07-1答辩.ppt

* * 同学们好！ 磁敏传感器 磁场 电能 测量原理：半导体材料中的自由电子及空穴 随磁场改变其运动方向 结构 结型 体型 霍尔传感器 磁敏电阻 —— 磁敏二极管 磁敏三极管 —— §7-1 霍尔传感器 一、霍尔效应 —— 霍尔元件灵敏度 —— 霍尔电势 1、定义 霍尔：1879年 半导体 2、霍尔电势的产生 N型半导体： 洛仑兹力 电场力 动态平衡 P型： 令 霍尔系数 电流 或 或 半导体 绝缘体 金属 材料：锗、硅、砷化镓、砷化铟、锑化铟 灵敏度低、温度特性及线性度好 灵敏度最高、受温度影响大 输入1 输入2 输出1 输出2 磁性顶端 引线 衬底 霍尔元件 溅射工艺制作的 锑化铟霍尔元件 二、霍尔元件的主要技术参数及特点 （1）额定激励电流 IH —— 霍尔元件温升10 ℃时所加的电流 焦尔热 散热 —— 表面散热系数 （2）不平衡电势U0 不等位电势、零位电势 ——IH、B=0、空载霍尔电势 原因：两个霍尔电极不在同一等位面上 材料不均匀、工艺不良 （3）输入电阻Ri 、输出电阻R0 Ri —— 控制电流电极间的电阻 R0 —— 输出霍尔电势电极间的电阻 B = 0 欧姆表 （4）霍尔电压 VH 0.1 0.2 0.3 0.4 250 200 150 100 50 0 0.1 0.2 0.3 0.4 250 200 150 100 50 0 （5）霍尔电压的温度特性 负温度特性 霍尔元件的主要技术指标 三、霍尔元件连接方式和输出电路 1、基本测量电路 特点： （1）测量磁物理量、电量及其它物理量 （2）实现乘法运算，构成各种非线性运算部件 （3）输出信号的信噪比大 （4）频率范围宽：直流 ~ 数百千赫兹 （5）体积小、重量轻 （6）稳定性好、寿命长 2、霍尔元件连接方式 控制电流端并联 输出电势为：2倍 控制电流端串联 次级绕阻叠加输出 E + + + + + + + + + + ----- ----- 直流供电方式： ~ 交流供电方式： 3、霍尔电势的输出电路 四端器件 输出电势：mV量级 线性应用：比例放大器 线性度好、低噪声放大器 开关应用：射极跟随器 灵敏度高：一般放大器 四、霍尔元件的测量误差及补偿方法 1、零位误差及补偿 半导体固有特性 半导体制造工艺缺陷 零位误差 温度误差 A、B同一等位面：U0 = 0、电桥平衡 A、B非同一等位面：U0 = 0、电桥不平衡 电桥补偿原理：在阻值较大的桥臂上并联电阻 （a） （b） （c） 2、温度误差及补偿 电阻率、迁移率、载流子浓度：T 霍尔元件内阻、霍尔电势：T 五、霍尔开关集成传感器 霍尔效应 集成电路技术 开关信号 磁敏传感器 1、结构及工作原理 稳压 材料：硅 工艺：硅平面工艺 提高灵敏度 N型硅外延层很薄 集成工艺 工作原理： 有磁场：VH，放大，整形： 开启阈值，高电平 VT导通，具有吸收电流的负载能力 磁场减弱：VH 减小，放大，整形： 关闭阈值， 翻转，低电平，VT截止 开状态 关状态 2、工作特性 12 10 8 6 4 2 0 —— 工作点“开” —— 释放点“关” —— 磁滞 高?低，开状态 低?高，关状态 3、接口电路 3020T 外形 应用电路 K K 4、磁场施加方式 2.5 5 7.5 10 12.5 15 17.5 20 0.10 0.09 0.08 0.07 0.06 0.05 0.04 0.03 0.02 0.01 0 （1）磁铁轴心接近式 两轴心方向重合 2.5 5 7.5 10 12.5 15 17.5 20 0.10 0.09 0.08 0.07 0.06 0.05 0.04 0.03 0.02 0.01 0 （2）磁铁侧向滑近式 两平面距离不变， 磁铁轴线与传感器 平面垂直 （3）采用磁力集中器增加传感器的磁感应强度 0 2.5 5 7.5 10 0.10 0.08 0.06 0.04 0.02