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微細線切割機(MicroWEDM)之機台與加工精度之研究
中國機械工程學會第二十四屆全國學術研討會論文集 中原大學 桃園、中壢
中華民國九十五年十一月二十四日、二十五日 論文編號: D08-0066
微細線切割機 (Micro WEDM)之機台與加工精度之研究
許富銓 1 2 1 1
安乃駿 張文龍 莊殷
1金屬工業研究發展中心 精微成形研發處 模具組
2金屬工業研究發展中心 技術服務發展處 檢測技術發展組
摘要 ,將可有效提升精微元件加工效率,[1-4] 。
本研究旨在以不同的量測儀器與設備,針對微 微細線切割之精微製造技術,除了需考量上述
細線切割機(Micro-WEDM,AGIE Vertex 1F)之機台 的放電能量電源系統與微細線送線系統的穩定性
定位精度與產品加工尺寸精度進行分析,透過對機 外,機台定位精度及線切割製程的放電間隙控制
台誤差(Machine error)的評估及加工過程之製程 [5-6],亦是扮演非常重要的角色。本研究首先針
誤差(Process error)的補 償,用以提升微細線切 對機台之X、Y、U及V軸之定位精度進行量測分析,
割機所製造之精微元件的尺寸精度。 以確實掌握機台的定位誤差(Position Error),為
了實際瞭解精密線切割製程中,每個加工道次的製
機台之定位與重複精度以雷射干涉儀來判
程誤差(Process error) ,本研究則針對線切割加
定,製程誤差則以大範圍次微米量測儀、2D-光學
工參數與放電間隙值的關聯性進行綜合分析與比
影像量測儀進行量測。研究結果顯示:機台於X、Y、
較,最後,則以實際的加工案例與最終的加工精度
U、V軸之定位精度均不大於1μm;線切割單邊放電
量測結果進行討論,期以對機台誤差及製程誤差的
間隙(i.e.製程誤差),隨著線切割加工能量的變小
掌控,驗證精密線切割的加工精度,並將相關資料
而縮小,最小放電間隙亦可控制在1μm;當加工元
提供給對線切割機製程有興趣的產、學、研等研究
件的尺寸公差小於±1μm時,僅有大範圍次微米量
單位,期能共同為提升台灣精微製造技術而努力。
測儀具有檢測加工精度的能力。
2. 實驗方法與規劃
關鍵字:微細線切割機、定位精度、加工精度
2.1實驗規劃與流程
本研究主要分成三大部分:(1)機台誤差量
1. 前言 測、(2)製程誤差分析及(3)實際加工精度分析。第
一部份之機台誤差採用雷射干涉儀進行全行程之
線切割加工 (WEDM, Wire Electrical-Discharge
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