Sputter-私立天主教辅仁大学物理系.doc

Sputter 輔仁大學 物理系 凌國基老師Plasma 最基本的形成plasma的方法為dc diode discharge如圖一，在陰極的地方接負電，陽極的地方接地，加入工作氣體之後二平板間即會產生電漿。 圖一、Dc diode plasma discharge showing ionization by electrons accelerated by the electric field between two electrodes. 作用原理 圖二、電漿形成示意圖 見圖二一個真空腔內，有一對平行電板分別接上正負電。當真空腔內的一些自由電子被吸引往陽極方向跑，途中有可能會撞上其它的氣體分子，在具有足夠能量的狀況下會造成氣體分子的游離，產生正的氣體離子(後簡稱正離子)。若能量不夠有可能只是造成氣體分子裡的電子產生躍遷，當躍遷的電子回歸基態時會發出光茫而這現象稱之為輝光放電(部分的輝光是由正離子撞到自由電子兩者結合時產生的)。產生的正離子受電場影響撞向陰極。這時正離子所帶的能量取決於所加電壓的大小，例加110伏特的電壓正離子就是帶有110eV的能量撞向陰極。能量夠大的話就會把陰極金屬板上的材料打出來，當我們在上方加裝一個基板，就形成濺鍍的機制。不夠大的話就算撞不出來也有可能把陰極板上的電子撞出來，那這打出來的電子又會重回到前面的過程，持續