委託業務成果報告書量子ビーム基盤技術開発プログラム 「超導加速による次世代小型高輝度光子ビーム源の開発」 （直流圧.pdfVIP

委託業務成果報告書 量子ビーム基盤技術開発プログラム 「超伝導加速による次世代小型高輝度光子ビーム源の開発」 （直流高圧電子源開発） 独立行政法人 日本原子力研究開発機構 平成２２年５月 本報告書は、文部科学省の科学技術試験研究委 託事業による委託業務として、独立行政法人 日本 原子力研究開発機構が実施した平成２１年度 「超 伝導加速による次世代小型高輝度光子ビーム源 の開発」（直流高圧電子源開発）の成果を取りま とめたものです。 2 １．委託業務の目的 超伝導高周波加速器技術とレーザーパルス蓄積技術の融合によって、ポストゲノム時 代の生命科学研究、ナノ構造解析、創薬、医療診断、マイクロリソグラフィへの利用を 画期的に飛躍させる軟 X 線から硬 X 線領域の小型高輝度 X 線発生装置（10m × 6m 程度）を実現する。本装置実現のために、高品質大強度電子ビーム生成装置、大強度? 高電界超伝導高周波加速装置、高品質短パルス大強度レーザー蓄積装置、ミクロン精度 での電子ビーム軌道制御技術及び、レーザー光路精密調整といった技術の実用化を図る。 よって、超伝導高周波加速器技術を使った5 nm～0.025 nm 波長領域の小型高輝度 X 線発生装置の開発とその実用化に必要な基幹技術の確立を行うことを目的とする。 このため、大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構、国立大学法人東京大 学、独立行政法人日本原子力研究開発機構、国立大学法人広島大学、学校法人早稲田大 学、東芝電子管デバイス株式会社及び株式会社日立ハイテクノロジーズと共同で業務を 行う。 独立行政法人日本原子力研究開発機構では、直流高圧電子源に関わる研究開発を実施 する。また、直流高圧電子源と組み合わせて使用する CW 超伝導加速空洞について、大 学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構と連携して研究開発を実施する。 ２．平成２１年度（報告年度）の実施内容 ２．１ 実施計画 ① 直流高圧電子源の開発 高輝度光子ビーム源の連続運転を目的とし前年度の業務で試作したコックク ロフト?ウォルトン型高電圧発生装置の運転試験を行う。陰極表面洗浄装置、極 高真空用排気装置、ビームダンプの製作を行い、電子ビーム引き出し試験に着手 する。 ② 直流高圧電子源と組み合わせて使用する CW 超伝導加速空洞の研究開発 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構 と連携して、直流高圧電子 源と組み合わせて使用する CW 超伝導加速空洞の最適設計を進め、空洞試作に 着手する。 3 ２．２ 実施内容(成果） ① 直流高圧電子源の開発 超伝導加速による光子源において発生する光子（Ｘ線）の輝度、強度を増大するには、 電子ビームを連続的に加速する運転モード（ＣＷ運転）が望ましい。CW 運転を実現す るには超伝導加速器、電子銃ともにパルス運転モードとは異なる性能の装置が必要であ る。われわれは、CW 運転を実現する低エミッタンス大電流電子銃として、半導体光陰 極を備えた DC 電子銃（フォトカソードＤＣ電子銃）を採用し、開発を進めている。こ のタイプの電子銃を採用した理由は次の通りである。(1) フォトカソードはレーザを半 導体に照射して光電子を発生するので、モードロックレーザからピコ秒の電子パルス列 を直接生成し超電導加速器へ入射できる。同時に低エミッタンス電子ビームの生成にも 適している。(2) RF 電子銃（常伝導）では RF 空洞の発熱のために CW 運転が困難であ るが、DC 電子銃は容易に CW 運転を行うことができ、また DC 電源の容量次第で大電 流にも対応可能である。