热子组件的制备工艺方法改进.pdf

热子组件的制备工艺方法改进 徐振英 孟鸣凤 (中国科学院电子学研究所) 摘要对传统的热子组件的制备工艺进行了改进，利用这种方法制备热子组件具有工 艺简单，便于烧结，热传导性能良好等特点。并对用该方法制得的热子组件进行温度 测试，得出了一些有用的数据。 关键词热子组件 可靠性 一致性 随着现代技术和工程化的发展，对真空器件的可靠性和一致性要求越来越高。热 子作为真空器件的一个重要部件，维持它的可靠性和一致性至关重要。从降低热子工 作温度并提高其可靠性的角度考虑，可将热子做成组件。热子组件一般用在钡钨阴极 上，因为钡钨阴极工作温度较高，热子负荷较重，做成组件可使原来的辐射传热变为 直接传导加热，从而大大降低了热子的工作温度。由于热子与阴极烧结在一起的组件 热子与阴极的温差最小，且具有高效率、高可靠、耐冲击等优点，现在国际上都朝着 这种热子组件方向发展。 1．热子组件制备 u 传统的制备热子组件的方法是将A1203细粉(颗粒度在10m左右)加上粘结剂、 缓释剂等有机溶剂配制成悬浮液，注入到放有热子的阴极筒空间中，将其烘干使有机 溶剂完全去掉后放入氢炉中烧结。另一种方法是利用仙03一Cao固熔料与A1203混 合制成粘结膏，在阴极筒内壁上涂以稀释的粘结膏，再把蘸有稠粘结膏的带A1203涂 层的热子放入阴极筒，与阴极筒内壁形成良好的接触，待完全烘干后把阴极一热子烧 结成一体。前一种方法的缺点是组件组合过程中A1203悬浮液受热子丝阻挡，组件内 部易出现孔隙，影响到热量的传导；且高温烧结时A1203收缩易出现裂纹，需要补入 A1203悬浮液，再次烧结，对工艺要求较高。后一种方法的缺点是对固熔料的控制较 严格，若控制不好，阴极与热子之间容易形成漏电。 1．t m左右)填充到放有热子的阴 改进的方法为将适量A1203粗粉(颗粒度在100 极筒空间中，滴入无水乙醇使之沉积， 然后放入烘箱中80℃维持约30min，然 后升到120。C维持约30min。待完全烘干 后，滴入少量A1203悬浮液，使之完全渗 透到A1203粗粉的空隙中，烘干后送入氢 炉中1600℃烧结3min，降温后取出，热 子组件就制成了。图一为用这种法制得 的热子组件的照片： 图一热子组件 这种方法的优点有： (1)工艺操作简单。由于利用无水乙醇沉积，对操作人员的技术要求较低，且组件 内部不会产生空隙，一致性较好。 (2)由于A1203悬浮液中含有粘结剂，使粗粉细粉很容易粘结在一起，便于烧结， 形成一个致密的整体。 (3)全部采用A1203绝缘材料，不掺入其它杂质，不容易产生漏电。且A1203悬浮液 使用量较少，有机溶剂的引入量也很少，在整管中不会分解生成过多的碳破坏绝缘层， 也避免了周围零件的污染。 (4)由于采用粗细粉混合，粗粉构筑了整个框架，烧结过程中不容易出现收缩裂纹； 细粉渗入到粗粉的空隙中间，使组件整体更加致密，热量传导的更好。 2测试 将用该方法制成的某种热子组件封入玻壳中作二极管温度试验(如图二所示)， 用光测高温计分别测量阴极筒和阴极饼的温度，并与相同冷阻非组合件热子在同样功 率下的测得的温度作比较，所得曲线如图三所示。由图中可以看出，热子组件整体热 量均匀，阴极筒与阴极饼之间存在的温差很小，说明热量传导均匀，热效率高。热子 组件与单独热子的温差在180℃左右，但装入整管后，由于有热屏的作用，组件与热 子的温差会迸一步缩小，可小于j-00℃，大大降低了热子的工作温度。同时，该结果 也为其它同类热子的设计提供了有用的数据。 265 图二热子组件二极管温度试验 _i| 叠曩一_i|叠 j?■誓|。 ’ 一 渗囊攀漤》 。l。j0… 誉鎏j鬻挚 ．200 ≮≯ ≯懑挚 j-。l黟薹鼍‘ i