用于移相器的BST薄膜叉指电容的研究.pdfVIP

2005’全国微波毫米波会议论文集 用于移相器的BST薄膜叉指电容的研究1 张伟伟周颖娟朱守正 华东师范大学信息学院电子系邮编200062 摘要一一采用铁电材料钛酸锶钡(BST)薄膜移相器以其成本低廉、响应速度快、频带 宽、体积小、重量轻、控制简单等诸多优点而引起关注。本文对适用于BST薄膜移相 器的叉指电容进行了研究分析，提出了在HFSS环境下进行仿真的新思路，既满足了在 BST移相器设计‘初期对于叉指电容的参数要求，又减少了软件计算量，节约了软件仿真 的硬件资源。并且在对叉指电容的分析中，提出了叉指电容电路中含有一定电感特性的 新观点。 关键词：铁电材料BST薄膜移捌器叉指电容HFSS仿真 前言 铁电材料钛酸锶钡(BST)具有低损耗角正切，高介电常数变化率，极化速度快 耐击穿电场大等优点[110目前，已被应用于可调滤波器、移相器等多种领域。 BST移相器就是利用改变传输线 上材料的介电常数从而改变传输线电 长度的原理工作的。近年研究BST薄～?≯鼍F“李 。’李 ‘”李 膜的人很多，尤以传输线上所加载的 可变电容日1]BST薄膜电容为热点。电 路原理图如图1(a)示口J。传输线上周期 ～抵啤莘诮刑鸯≯…南-m译≯ 安置着一系列压控可变电容。电容的 奇寺 奇审 奇寸 变化会改变传输线的特性阻抗，使微 波信号移相。由于采用了共面波导和 图1(a)采用周期加载可变电容岛阻传输线的分布式移 分布式安置，所以整个电路呈对称结 相器原理圈 构，移相器具有互易性，可以兼顾收、 (b)可蛮电容加载线等效电路 发信号，同时使设计和制造更简单。 其中可变电容C。，BPBST可变电容。 BST薄膜电容一般有TF行板式和叉指式两种结构。 平行板电容采用上、下金属电极中间夹一层BST薄膜的三明治结构。但研究表明， 这种结构对薄膜的制备工艺要求较高，而且加工需多道工序，造价昂贵。另外，在加工 过程中BST材料会出现衰变，损耗较大，严重影响器件的品质因数。因此，研究人员 开始研究叉指电容结构，做为平行板结构的改进型。 叉指电容结构属平面结构，电极呈叉指状平铺在BST薄膜卜，交叉两指分别与共面 本文得到I．海市科委基金项目(047252038)资助 767 2005。全国微波毫米波会议论文集 波导的中心导带与接地板相接。100nmBST薄膜可用RF磁控溅射法在蓝宝石基片L沉积 而成，叉指结构由t．59m的A膜经干法刻蚀形成口。J。作为改进型，叉指结构提高了BST 电容的品质因数，降低了器件介质损耗【6J。同时，因为采用平面结构，制造工艺要简单 得多，保证了BST的品质不受工艺太大影响，降低了加工成本。 在进行BST移相器的设计时，可变电容的设计决定了整个移相器的相移大小，因 此叉指电容的设计十分重要。 对于单纯的叉指电容，已经有许多人做了许多研究，通过试验及理论分析得出了一 些设计公式。如今BST薄膜叉指电容虽是研究的热门，但笔者查阅资料未发现有较方 便准确的方法。 因此，本文基于对BST移相器的设计出发，对于叉指电容的特性和尺寸设计进行 了研究分析。在HFSS软件的仿真环境下，提出了其适用的设计仿真思路。 实验结果 对于叉指电容的分析，Lei Zhu等人也提出了适用于可调滤波器设计的仿真模型[”。 他们是利用开路、短路线进行MoM运算。 而若在HFSS中进行仿真，会发现端接电压源的引线及回路微带线其本身就有一定 的电感电容，均对最后的仿真结果造成一定的误差，且结果计算分析起来较为复杂。另 外，在BST移相器设