扫描电镜原理及提高图像质量的方法讲义.pptVIP

~ 10 nm: 二次电子 ~ 1~2 mm: 背散射电子 ~ 2~5mm: X-射线/阴极荧光 交互作用区 一次电子束 电子束-样品交互作用区 25 kV 15 kV 5 kV 同一样品, 不同能量电子束 不同样品, 同一能量电子束 铁 碳 银 2.分辨率(入射电子束斑直径) 入射电子束束斑直径是扫描电镜分辨本领的极限。 电子束斑直径的计算公式 公式中，d为电子束斑直径， α为孔径角，Cs为末级透镜的球差系数; λ为入射电子波长; Ip为电子束电流; β为电子束的亮度. 式中第一项为球差,第二项是衍射差引起的,第三项是无像差透镜形成的电子束直径。 对于热发射的钨丝电子枪其亮度可表达为 式中, Jc是电子枪的发射电流密度; V为加速电压; k为玻尔兹曼常数;T 是电子枪灯丝工作温度(K); e是电子的电荷. 3.信噪比 提高信噪比的途径： A.增大束流 B.延长扫描时间 C.适当增大平面试样倾角 (电子束的束电流Ip为)) 4.影响分辨本领的因素还有杂散 电磁场和机械震动等。 5.样品的自然衬度 五、操作要点 在使用扫描电镜的过程中，为获得满意的图像，需注意以下操作要点： 1.针对不同试样选择合适的电子枪加速电压，可以使电子束的波长减小而亮度增大，从而有利于改善分